薄膜計測装置

UT-300は、光学装置の代名詞ともいえるフランスのHORIBA JOBIN YVON社(HORIBAグループ)のPhase modulation systemを用いたUV-visible分光エリプソメーターに、HORIBAのメカトロニクス技術を融合させた全自動超薄膜計測システムです。半導体製造プロセスにおいて、今まで難しかった複合多層膜・超薄SiO2膜の膜厚・ n ・ k...

可視分光エリプソメーターの新機種。膜厚計測のルーチンワークに最適な装置です。

液晶変調方式を採用した新型分光エリプソメーター。膜厚測定のあらゆるニーズに応えます

紫外域～近赤外域まで対応のR&D向け高精度分光エリプソメーター

先端研究の薄膜・表面・界面の特性評価のために、UVISELシリーズは、モジュール式と性能面でベストな組み合わせを提供します。UVISELシリーズは、位相変調技術に基づき、紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの広範囲な波長域をカバーしており、高精度・高分解能測定・素晴らしいS/N比で、全波長域に渡って高品質な測定データを採取することができます。

UVISELLシリーズは、機械...

進化しつづけるFPDの製造工程で各種膜厚、薄膜を評価・分析HORIBAは、HORIBA JOBIN YVON社の分光エリプソメーター及び光干渉計に自社の全自動測定技術を融合させ、全自動で同時一括測定を可能にした全自動薄膜計測システムFF-1000(膜厚計)を開発しました。FF-1000は、さまざまなガラス基板上の各種薄膜の膜厚や光学定数を、高速かつ高精度に測定できます。縦横2m以上の大型ガラス基板に対応するほか、TFT(Thin Film...