超純水モニタ
半導体製造ラインや液晶製造ラインに使われる超純水中の微粒子の個数をカウントし、リアルタイムで検出結果をモニタ表示するインラインパーティクルセンサPLCA-800シリーズ。コンパクトなセンサタイプながら、最小可測粒径0.1μmを実現。試料の微妙な変化に瞬時に対応する応答性も優れています。しかも、最大10カ所のセンサを一元管理でき、マルチポイント測定に最適です。測定データはコンピュータに収集・保存され、簡単に編集することも可能です。日々要求レベルが厳しくなる超...
ボイラ用水や半導体の洗浄用超純水中のシリカ濃度を自動連続測定する装置です。5分間の高速で、繰り返し性の高い、低濃度から高濃度の測定をおこないます。火力、原子力発電所におけるタービン駆動の効率化や半導体・化学産業分野での品質管理に有効です。...
