高温対応マスフローコントローラ SEC-2000 series

高温環境での使用が可能なSEC-8000/2000シリーズは、ウルトラクリーン対応のガス供給系、pptレベルでの超微量ガス分析に用いられる等、半導体・化合物半導体プロセス外の様々なご用途に対応したモデルです。