マスフローコントローラ　SEC-E400J series

SEC-E400J

概要

生産性向上の要因として、製造設備の高性能化や小型化・ローコスト化等が着目されています。これらの要求はガス供給系、とりわけキーデバイスと称されるマスフローコントローラへの要求へ繋がります。コストパフォーマンスに優れたソレノイドバルブ搭載のマスフローコントローラをラインアップすることで、プロセスに合ったパフォーマンスをご提供しています。

特長

  • メタルO-リングを採用　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　腐食性ガスへの対応も可能

  • 異常アラーム機能を搭載　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　アラーム出力(接点)機能を標準搭載

製造会社: HORIBA STEC

仕様

 

SEC-E440J

接ガス部材質

SUS-316L、テフロン、磁性ステンレス

バルブ形式

非通電時:閉

標準流量レンジ

10/20/50/100/200/500 SCCM
1/2/3/5/10 SLM

流量制御範囲

2〜100％ F.S.(フルスケール)

流量精度

±1.0％ F.S.(フルスケール)

 

SEC-E450J

接ガス部材質

SUS-316L、テフロン、磁性ステンレス

バルブ形式

非通電時:閉

標準流量レンジ

20/30 SLM

流量制御範囲

2〜100％ F.S.(フルスケール)

流量精度

±1.0％ F.S.(フルスケール)

 

 

外形寸法図・他（単位：mm）

schematics
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