液体微小デジタルマスフローメータ/コントローラ LF-F/LV-F series
概要
半導体デバイスの高速・高密度化にともない、デバイス構造の微細化のみならず材料の置き換えによる対応や生産性向上をめざして300mmウェハプロセスの導入が行われています。この動向にともない、半導体プロセスに用いられる“液体材料”においても多様化と大流量化が進んでいます。 弊社の液体材料気化システムはプロセスに応じた液体材料気化デバイス（インジェクション方式、ベーキング方式）と、液体材料シリンダーから安全に迅速に気化デバイスへ材料供給を行うリチャージシステムをもラインアップし総合的なシステムをご提供しています。
特長
- デジタル回路の採用により、高精度・高速応答が実現
- マイクロリッターからの微小流量制御が可能
- 低沸点液体材料、高粘度液体材料の精密流体制御が可能
- ウルトラクリーン対応
- RoHS指令対応
外形寸法
LF-F series
Model | H | T | W | I | I | I | I | I | I | A | B | C | D | E |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
LF-F20M-A | 112 | 30 | 55 | 106 | 105 | 94 | 99 | 87 | 89 | 5 | 65 | 5 | 20 | 17 |
LF-F30M-A | 112 | 30 | 55 | 106 | 105 | 94 | 99 | 87 | 89 | 5 | 65 | 5 | 20 | 17 |
LF-F40M-A | 112 | 30 | 55 | 106 | 105 | 94 | 99 | 87 | 89 | 5 | 65 | 5 | 20 | 17 |
LF-F50M-A | 112 | 30 | 55 | 106 | 105 | 94 | 99 | 87 | 89 | 5 | 65 | 5 | 20 | 17 |
LF-F60M-A | 112 | 30 | 55 | 106 | 105 | 94 | 99 | 87 | 89 | 5 | 65 | 5 | 20 | 17 |
*1：1/4 VCR
*2：1/4 スウェージロック
*3：1/8 VCR
*4：1/8 スウェージロック
*5：1/16 スウェージロック
*6：1/16 Special
LV-F series
Model | H | T | W | I | I | I | I | I | I | A | B | C | D | E |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
LV-F20 (PO/MO) | 112 | 30 | 86 | 137 | 136 | 125 | 130 | 118 | 120 | 5 | 96 | 5 | 20 | 17 |
LV-F30 (PO/MO) | 112 | 30 | 86 | 137 | 136 | 125 | 130 | 118 | 120 | 5 | 96 | 5 | 20 | 17 |
LV-F40 (PO/MO) | 112 | 30 | 86 | 137 | 136 | 125 | 130 | 118 | 120 | 5 | 96 | 5 | 20 | 17 |
LV-F50 (PO/MO) | 112 | 30 | 86 | 137 | 136 | 125 | 130 | 118 | 120 | 5 | 96 | 5 | 20 | 17 |
LV-F60 (PO/MO) | 112 | 30 | 86 | 137 | 136 | 125 | 130 | 118 | 120 | 5 | 96 | 5 | 20 | 17 |
*1：1/4 VCR
*2：1/4 スウェージロック
*3：1/8 VCR
*4：1/8 スウェージロック
*5：1/16 スウェージロック)
*6：1/16 Special
※外形寸法図面につきましては、別途ご依頼ください。
※記載している継手は、相当品を使用する場合があります。
製造会社: HORIBA STEC
仕様
名称 | マスフローメータ | ||||
|---|---|---|---|---|---|
型式 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
フルスケール流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
測定制御範囲 | 5〜100% F.S. | ||||
対象液種 *1 | HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く | ||||
液体粘度 *2 | Max. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
繰返性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
応答精度 | 3秒以内 (T98) | 2秒以内 (T98) | |||
使用可能周囲温度 *4 | 5〜50℃ (推奨温度15℃〜45℃) | ||||
温度影響 スパン | ±0.1%F.S./℃ Max±1% | ||||
動作差圧 *5 | Max. 5MPa (マスフローメータ単体の場合) / 0.05〜0.3MPa (ピエゾバルブ制御の場合) | ||||
耐圧 | 10MPa (as flow meter) | ||||
圧力損失 *6 | Max. 500Pa | ||||
流量設定信号 | アナログ：0.25〜5 VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) | ||||
流量出力信号 | アナログ：0〜5 VDC(最小負荷抵抗2kΩ) | ||||
駆動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部リーク規格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材質 | SUS316L, Ni | ||||
標準継手 | 1/16 , 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ | 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ | 1/4 スウエージロックタイプ, 1/4 VCR タイプ | ||
名称 | マスフローコントローラ | ||||
|---|---|---|---|---|---|
型式 | LV-F20 | LV-F30 | LV-F40 | LV-F50 | LV-F60 |
フルスケール流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
測定制御範囲 | 5〜100% F.S. | ||||
対象液種 *1 | HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く | ||||
液体粘度 *2 | Max. 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
繰返性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
応答精度 | 3秒以内 (T98) | 2秒以内 (T98) | |||
使用可能周囲温度 *4 | 5〜50℃ (推奨温度15℃〜45℃) | ||||
温度影響 スパン | ±0.1%F.S./℃ Max±1% | ||||
動作差圧 *5 | 0.05〜0.3MPa | ||||
耐圧 | 1MPa | ||||
圧力損失 *6 | Max. 30kPa | ||||
流量設定信号 | アナログ：0.25〜5 VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) | ||||
流量出力信号 | アナログ：0〜5 VDC(最小負荷抵抗2kΩ) | ||||
駆動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部リーク規格 | PO : 1×10-8Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材質 | PO : SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO : SUS316L,Ni | ||||
標準継手 | 1/16 , 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ | 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ | 1/4 スウエージロックタイプ, 1/4 VCR タイプ | ||
*1：LF-F/LV-Fシリーズは、1種類の液体で流量校正されています(使用液体をあらかじめご指定ください。)
・固体物を含んだ液体は測定できません。
・混合液で混合比が変化する場合はあらかじめご相談ください。
・LV-Fシリーズは、対象液体に粒子等含まれる場合、0.2μm(Abs.)以下のフィルターを一次側(入口側)に取り付けてください
*2：LF-Fタイプでは流量レンジにより max, 0.1Pa·sまで対応可能です。粘度の高い液体についてはあらかじめご相談ください。
*3：SEMI E56-1296 準拠
*4：計測・制御を行う液体温度が、周囲温度より低い場合はその差を10℃以内、また液体温度が高い場合は3℃以内でのご使用をお願いします。
*5：粘度0.001Pa・sにおけるF.S.流量値での値です。
*6：粘度0.001Pa・sの液体をフルスケール流量で流した時の最大圧力損失です。
外形寸法図・他（単位：mm）
