液体材料気化供給装置 TL series

TLシリーズは、液体材料を専用の気化器により気化し、キャリアガスを導入することにより、気化能力を高め「大流量気化発生」「高沸点液体材料の気化発生」「常圧発生」を可能としたモデルです。
液体材料は液相状態で液体微少マスフローコントローラ：LVシリーズにより流量制御されます。またキャリアガスはマスフローコントローラ：SECシリーズにより流量制御され、各々専用の気化器へ導入されます。気化器内部では効率良く液体材料が気化されキャリアガスによりユースポイントまで供給されます。TEOS、H₂Oをはじめとした材料の大流量発生、常圧発生や高沸点液体材料の気化供給装置として多数の納入実績を誇るモデルです。ご使用される液体材料、発生条件(温度・圧力等)をもとに、最適な気化供給システムをご提案致します。