SEC-E40/50MK3

ローコストマスフローコントローラ SEC-E40MK3/50MK3

ソレノイドバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

SEC-400MK3/500MK3

ローコストマスフローコントローラ SEC-400MK3/500MK3

サーマルバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ