Pressure Insensitive Mass Flow Module

差圧検出方式PIマスフローモジュール CRITERION D200 series

一次側、二次側の圧力変動の影響を受けにくい、高安定な流量制御を実現したマスフローモジュール

SEC-Z700 series

サーマル方式PIマスフローモジュール　SEC-Z700X Series

実績あるサーマルセンサ搭載の進化モデル