サーマル方式PIマスフローモジュール　SEC-Z700X Series

マスフローコントローラ前後に圧力変動が生じた場合でも安定した流量制御を行います。マルチチャンバーでのガスラインは、圧力変動によるマスフローコントローラのクロストーク現象が発生し易い為、ラインレギュレータ、圧力センサー、フィルターが取り付けられています。新型マスフローコントローラSEC-Z700 series、CRITERION D200 seriesは、圧力変動の影響を受けにくく、常に安定した流量制御を実現した製品です。流量出力だけでなく、温度、圧力の出力機能も装備しています。通信は、アナログ、RS-485、DeviceNet™の各種インターフェースをラインアップ。ガスラインの高性能化、コンパクト化、軽量化に最適です。