干渉式リアルタイム膜厚モニタ DM-1000 シリーズ

概要

成膜/エッチングプロセス中に、変化する膜厚を高精度で算出し、任意の膜厚を設定することで、エンドポイントを検出できます。複雑な多層膜にも対応可能で、安定度の高い管理に貢献します。

特長

  • 新コントロールユニット(分光器含む)を搭載し、感度/安定性が向上しました。
  • ユーザーフレンドリーな操作で多彩な演算が実行可能となりました。
  • 取得データの再計算や統計機能の追加により、プロセス管理の効率化をサポートします。

製造会社: HORIBA

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