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株式会社 堀場製作所
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  • CRITERION - 製品名について

ギリシャ語のKriterionを語源に持つ「CRITERION」は、物事を判断する基準や標準、尺度を意味します。流体制御フィールドにおいて「Grobal No.1」を目指すHORIBA STECが創造した新型流量制御モジュールの名に「CRITERION」を命名。日米のエンジニアを中心に次世代の流体制御モジュールに新たなる息吹を吹き込みます。

  • 構造

ガスの入り口側により、外部パーティクル保護用フィルタ、入り口ライン圧力センサ、制御バルブ、一対の圧力センサ、流量抵抗体(フローリストリクタ)およびデジタル電気回路で構成されています。ガス流路には、発熱部がなく、すべてメタル材料を使用し、内面研磨処理標準のウルトラクリーンモデルを採用しています。

 

CRITERION構造
CRITERION構造
  • CRITERION性能