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株式会社 堀場製作所
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■冷却測定方式

液体用微少マスフローLF-F/LV-Fシリーズの流量センサは、毛細管に接する電子冷却素子(ペルチェ素子)と複数の温度検出素子から構成されています。液体が流れると流量に応じた温度上昇(△T)を検出し、流量として表示します。加熱方式に比べ、冷却方式の利用により低沸点液体の流量測定が可能になるとともに、溶存ガスの再放出(気化)の影響を受けずに、正確な流量計測が可能です。

■構造/動作原理

マスフローコントローラ:LV-Fシリーズは、マスフローメータ:LF-Fシリーズにピエゾアクチュエータバルブを加え、比較制御回路を内蔵した液体用マスフローコントローラです。流量設定信号と流量出力信号を比較し、両信号が一致するようにバルブの開度を自動的に制御します。フィードバック制御のため、外的条件の変化に対する流量変化がなく、精度良く安定な制御が可能です。コントロールバルブにはピエゾアクチュエータバルブを使用し、安定性にすぐれ発熱もなく、低沸点の液体の流量制御にも最適です。