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株式会社 堀場製作所
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デジタルマスフローコントローラ内部構造

デジタルマスフローコントローラの主な構造は上図の通りです。
流量計測部:センサ・バイパス、流量制御バルブ、回路部から成り立っています。回路部へのCPU搭載により、高性能化・多機能化を実現しています。
ガスはInlet継手部より導入され、流量センサとバイパスに分流されます。センサによりガスの質量流量を計測し、外部より与えられる流量設定信号と計測し流量の変位がゼロと成るように流量制御バルブが流量を制御します。
ループ回路を採用し、導入ガスの供給圧力や二次側圧力化や周囲温度変化等が生じた場合でも瞬時に流量補行い安定した流量制御が行えます。

・主な機能

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