価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

カスタマーサポートセンターでは、お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。

株式会社 堀場製作所
カスタマーサポートセンター

フリーダイヤル 0120-37-6045
受付時間:
9:00~12:00/13:00~17:00
月曜日~金曜日(祝日をのぞく)

■MICROPOLE Analyzer

MICROPOLE Systemの特徴は、超精密光エッチング加工技術及びガラス/金属接合技術を駆使して四重極を9組組合わせた、MICROPOLE Analyzer(MPA)です。このMPAの開発により大型の質量分析装置と同等以上の性能を有しながら世界最小クラスの残留ガス分析装置が実現しました。本分析部はプラグイン方式のユニットタイプであり、あらかじめ分圧校正されたセンサユニットを装着するだけで全圧および分圧の絶対値を計測できます。

 

 

■測定原理

RGAはイオン源、質量分析部、計測部から構成されます。残留ガスは高温のフィラメントから放出された熱電子と衝突しイオン化され、生成したイオンは加速・収束されて質量分析部に導かれます。質量分析部では4本の円柱形電極(四重極)に直流及び交流電圧を印加することにより、イオンの質量がふるい分けられます。分離されたイオンはファラデーカップで電流として検出され、このイオン電流が残留ガスの量(分圧)に比例します。