라만 분광법은 진동운동을 하고 있는 분자에 단색광의 입사광을 쪼여줄 때 그 분자가 가지는 진동자들이 입사광의 에너지를 자신이 진동하는 에너지만큼 흡수, 방출, 또는 아무 변화 없이 그대로 통과시켜 입사광의 에너지와는 다른 3 가지 형태의 빛을 내놓게 되는데 이것이 라만 산란현상의 기본이 되고 있다.

'Ellipsometry'는 'ellips(타원)'과 'metry(측정기술)'의 합성어인데 이는 특정 편광 상태를 지니고 시편에 입사한 빛이 반사된 후에는 주로 타원편광이 되고 그 편광상태의 변화를 분석하는 기술이다.
이 편광 상태의 변화는 초박막에서 (2-3Å)에서도 민감하게 변화한다. 그리고 박막구조 분석, 굴절율(n), 흡수계수(k)를 동시에 결정할 수 있다.

회절과 간섭을 이용하여 빛의 스펙트럼을 얻기 위한 장치를 말하며 격자 또는 회절격자라고도 한다.
평면유리나 오목금속에 여러 개의 평행선을 같은 간격으로 새긴것으로 이것에 빛을 조사하면 투과 또는 반사된 빛이 파장별로 나뉘어서 그 스펙트럼을 얻을 수 있다. 프리즘보다 빛을 분산시키는 성능이 좋고 스펙트럼띠가 장파장인 빨간 쪽에서도 좁아지지 않으며, 빨강에서 보라에 이르기까지 스펙트럼의 색띠가 각 파장마다 균일하게 퍼지며, 스펙트럼띠가 1차, 2차, 3차로 병렬적으로 나타나는 점 등 프리즘에의해 일어나는 것과는 다른 특징을 볼 수 있다.