製品ラインアップ

GD-Profiler

Serve nm order의 분석이 가능한 GDS신제품이 출시 되었습니다.

GDS(GD-OES)분석 장치는 신속하고 간단한 표면분석 깊이 방향원소분석 장치로서 도금·열처리·표면처리·코팅등의 연구 개발이나 막 품질 평가에 있어서 폭넓게 활용되어 있습니다. 고주파방식 글로우(glow) 방전을 채용하고 있기 때문에 비전기 전도성 실험자료에서도 표면분석이 가능합니다.

関連オプション

トランスファーベッセル

大気遮断チャンバー(トランスファーベッセル)は、試料を大気から隔離してGD-OES分析を行う際に使用します。大気との遮断部分は、Oリング・逆止弁付バルブ・スライド式窓などから構成されています。

非平面治具

試料の表面が平面でない曲面形状などの試料を測定する際に使用します。

半定量キット

半定量キットとは、多種の元素に対する標準試料キットおよびプログラムです。ある程度の精度であれば、容易に深さ方向定量分析(Depth profile)が得られます。

Dip(Differential Interferometry Profiling)
差動干渉プロファイリング機構

層の厚さ、スパッタ速度とクレーターの深さをスパッタリングしながら同時測定できる画期的な機能です。定量分析しなくても、定量分析後に、深さ換算ができます。


関連アプリケーションノート

非平面形状試料への対応
従来、GD-OESは平板形状の試料を対象に分析することが一般的でしたが、最近では非平面形状用の治具が製作され、配管の内面や棒の外面を分析することが可能になってきています。

非平面試料ホルダーの活用例[1]
GD-OES法では、一般的に平板上の試料を対象とすることが多かったですが、棒状試料・球状試料などを測定できる非平面試料ホルダーがオプションとして発売されました。

デジタルマッチング制御式高周波電源
従来パルス測定時に必要であった条件探索のための“試し測定”が不要になり、パルス測定が非常に簡単・便利になりました。