第6回分光エリプソメトリー国際会議(ICSE) 発表要旨

分光エリプソメトリーによる金属イオンを含んだ水の分析

金属イオンを含んだ水の金属イオン濃度と屈折率の関係がわかれば、浸漬フォトリソグラフィや液体レンズへの応用が期待できます。分光エリプソメトリーでは、液体の屈折率の波長分散を、精度よく求めることが可能です。
ジスプロシウム(Dy)の濃度を変えた水を、UVISELを用いて測定した結果、イオン濃度が高くなると屈折率が高くなるという傾向が見られ、イオン濃度と屈折率の間に相関がみられる結果が得られました。(図1)
 

図1:ジスプロシウム(Dy)イオンを含んだ水の屈折率の波長分散
図1:ジスプロシウム(Dy)イオンを含んだ水の屈折率の波長分散