分光エリプソメーターUVISEL2
分光エリプソメーターUVISEL2

Outline

  • 位相変調方式とは
  • 封止サンプル
  • 封止(保護)膜付きサンプル解析
  • 封止缶サンプル解析
  • 劣化による膜質の変化
  • まとめ

位相変調方式とは

直線偏光はPEMを通過すると、複屈折によりp,s二つの成分で位相差が生じ、楕円偏光 となる。 50kHzの周波数をかけるため数ミリ秒の分解能でψとΔを決定することが可能 になる。cosΔ加えsinΔを検出することが出来るので、Δの精度が高いという特徴を 持っている。


構成


封止サンプル

有機EL膜は水分と酸素に弱いので劣化を防ぐために封止されているのが一般的である。この封止は封止膜と封止缶の2種類があり、それぞれについて評価を行った。

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