Auto SE

개요

Auto SE는 간단한 원 버튼 조작으로  Sample의 박막을 자동으로 분석하는 새로운 박막 측정 system입니다.
박막의 두께, 광학 상수, Sample 표면의 거칠기 및 이질성 등을 몇 초만에 완벽하게 분석하고 보고합니다.
Auto SE는 Auto XYZ Stage, 측정하는 지점을 실시간으로 이미지화, 자동으로 선택되는Spot 사이즈 등이 가장 큰 특징이며, 많은 액세서리들로 넓은 응용분야에 적용이 가능합니다.
Auto SE는 고장 수리 및 유지 보수를 위한 포괄적인 Operator 안내와 함께, 문제에 대한 자동적인 탐지와 진단을 위한 진단 지시자를 내장하고 있습니다.
Auto SE는 박막 측정과 장치 품질 관리를 위해서 Turn-Key 방식으로 만들어 졌으며, 자동화로 인해 사용하기 편리하다는 점이 두드러진 제품입니다.

기능

쉬운 박막 분석  
Sample 을 볼 수 있는 비젼 System 
Spot size 25x60 µm까지 가능 
광범위한 액세서리 선택


제조원 HORIBA Scientific

사양

Spectral range: 440-850 nm
Spot sizes: automatic selection >500µm; 500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm
Detection: CCD – Resolution: 2nm
Sample stage: 200x200 mm, automatic XYZ adjustment, vacuum check, Z height 50 mm
Sample viewing: CCD camera - Field of view: 1.33x1 mm – Resolution: 10µm
Goniometer: Fixed at 70° - Possible set up at 66° and 61.5°
Numerous accessories
Measurement time: 1s
Accuracy:  NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002
Repeatability:  NIST 15nm ± 0.2 Å