
Ellipsometer 가이드
• Ellipsometer란?
Ellipsometer에서 무엇을 측정 할수 있을까요?
• Ellipsometer 원리는 무엇인가요?
• 왜 단일 파장이 아니라 분광 Ellipsometer이 필요 한가?
1. 박막 1 층에서 n, k, d 중 하나만 알고 있는 경우
2. 분명하지 않은 박막 층의 경우
3. 다층막의 경우
• Ellipsometer 특징과 단점은?
• Ellipsometer 측정 방법은?
• 위상 변조 방식을 이용한 Ellipsometer이란?
JY Ellipsometer 구성은?
측정한 결과로 어떤 데이터를 얻을 수 있을까요?
측정 데이터로부터 각층 미지수 n, k, d를 찾으려면?
• 분석 단계
• 모델 만들때 광학 상수 (n, k, d)의 설정은?
1 참조 시료의 광학 상수
2. 분산 식
3. Classical 분산 식
• 불연속 막은 어떻게 분석할 수 있을까요?
효과 매질근사 (EMA) 란?
효과 매질근사를 이용한 분석 예제
• 분광 ellipsometer 분석 곤란한 샘플이란?
