New Uvisel 2

The ultimate solution to every challenge in thin film measurement

UVISEL Plus

분광 위상 변조 Ellipsometer (SPME)  UVISEL 는 어떤 기계적인 운동도 없이 편광을 변조하기 위하여 photoelastic 장치를 내장한 system입니다. 위상 변조 기술은 실험적으로 다양성과 성능면에서 중요한 이점을 제공합니다. 전통적인 ellipsometers와 비교해서 UVISEL 분광 ellipsometer는 얇은 박막 Sample과 낮은 인덱스...

AutoSE

Sample을 보면서 빠르게 두께, 굴절율, 흡수율등을 측정할 수 있습니다.

"Auto SE는 비교 대상이 없다"

Smart SE

Versatile spectroscopic ellipsometer delivering research grade performance at an economical price.

研究・開発向け

生産管理向け

     分光エリプソメーター

        可視分光エリプソメーター

分光エリプソメーター UVISEL2

分光エリプソメーター UVISEL

可視分光エリプソメータ Smart SE

自動薄膜計測装置 Auto SE

UVISEL2

UVISEL

   Smart SE 

Auto SE 

主な特長:

・位相変調方式を採用した高精度測定
・広い波長域にて高S/N比を実現
 (高感度測定)
・高い波長分解能による厚膜測定

     主な特長:

          ・高感度CCDによる高速測定
          ・マイクロスポット
          ・ビジョンシステム
          ・自動XYZステージ(マッピング測定)
          ・測定~解析~結果出力を自動化