大手の半導体メーカが進めているEUVリソグラフィ技術開発プロジェクトでは,波長13.5 nmの小型VUV光源を試作した。キャピラリ放電やレーザ誘起プラズマ,中空陰極などの光源は,プロジェクトが目標とした出力や繰り返し速度,信頼性は達成できていない。しかし,既に,数nmから数百nmまでの波長範囲で,この分野で従来使われていたペニング放電光源よりはるかに高エネルギー,繰返し率を実現している。現在,これらの新しい光源は,シンクロトロンのような高い特性までを必要としない実験用として使われている。例えば,EUV反射率測定,X線光電子分光法(XPS),EUVエリプソメトリ,蛍光測定などに使われている。

シンクロトロン・モノクロメータの設計に関する長年の経験や,グレーティングの開発・生産能力をベースに,JYは,これらの新しい光源に対応する各種の小型VUVモノクロメータと分光器を製品化している。トロイダルグレーティングと関連機器は,焦点距離が数百mmのものに比較し,スループットや分解能が高い。
JYではVUV用として次のような機種をラインナップしている。