真空外・軟X線用回折格子(グレーティング)
UV and Soft X-ray Gratings

ホログラフィック・イオンエッチングタイプの真空紫外軟X線用回折格子(グレーティング)です。基板上に直接、溝が形成され、溝はラミナー形状になっており、2次回折光の影響が低く抑えられています。

収差補正トロイダルタイプ、不等溝間隔 - VLS(Variable Line Spacing)-タイプに加え、溝の深さが溝方向に沿って連続的に変わる、溝深さ変化 - VGD(Variable Groove Depth)-タイプも新たに加わりました。また両方の特徴を兼ね備えたVLS-VGD回折格子(グレーティング)も提供可能です。


1. Toroidal Graings for Monochromators (TGM) /for Spectrographs (TGS)

収差補正型で非点収差並びコマ収差を極力抑えた設計になっています。モノクロメータ用(波長掃引タイプ)と、スペクトログラフ用(平面結像タイプ)の2タイプをご用意しております。

Toroidal Graings for Monochromators (TGM) /for Spectrographs (TGS)
詳細


2. Variable Line Spacing (VLS ) Gratings

不等溝間隔回折格子です。平面、凹面、どちらも対応可能です。お客様の仕様に合わせて製作致します。溝パラメータをご提示ください。


3. Variable Groove Depth (VGD) Gratings

溝方向に沿って、溝の深さが連続して変化している回折格子(グレーティング)です。回折格子の効率は溝の深さに深く関係しています。光を当てる位置を変えることにより最適効率波長(効率が最大となる波長)を変えることができます。

Variable Groove Depth (VGD) Gratings 詳細

 

溝形状

回折効率

赤:h min 緑:h center 青: h max