EMAX x-act- X선 검출기(액체질소 불필요)

개요

에너지 분산 X선분석 장치 EMAX ENERGY시리즈 신형검출기 EMAX x-act 등장!

기능

-액체질소 불필요
 신속한 시작 가능

-고속분석이 가능
 고계수율 성능으로 매핑 시간 대폭 단축

-높은 안정성 확보
 정성·정량은 물론 높은계수율 영역까지 안정된 성능을 발휘

-호평받아왔던 EMAX소프트웨어를 모두 계승
 Navigater, Help기능, 정량 지도 등 다양한 기능 <//link>


제조원 HORIBA

사양

Model

EX-250
x-act

EX-350
x-act

EX-450
x-act

Detector

Type

Standard

Premium

Premium

Resolution

135eV

129eV

129eV

Capability comparison

Analyzer

 

 

 

Qualitative analysis
(Automatic qualitative analysis and
KLM marker)

O

O

O

Spectrum comparison

O

O

O

Spectrum overlay

O

O

O

Element catcher

O

O

O

Quantitative analysis

O

O

O

Spectrum matching

Option

Option

O

Spectrum synthesis (Check total)

O

O

O

Mapping

 

 

 

Stored entire elemental information
of SEM image (Smart Map)

O

O

O

Line Scan

O

O

O

Quantitative Map

Option

O

O

Phase analysis (Phase map)

Option

O

O

Distribution analysis of multipul elements
(Cameo plus)

Option

O

O

Point & ID

 

 

 

Automatic data collection of analysis area
/Spectrum reconstruction

O

O

O

Point spectrum (Line & Grid)

Option

O

O

Automatic wide area analysis (Automate)*

Option

Option

O

Wide area mapping (Montage)**

Option

Option

O

Automatic particle analysis (Features)*

Option

Option

O

GSR*

Option

Option

O

Drift correction (Site Lock)

Option

O

O

*: Required auto stage and communication function on the SEM. Please check available SEM model
**: Wide area mapping (Montage) require the "Automatic wide area analysis(Automate)".

ダウンロード

관련 제품

EMAX ENERGY EX-250/350/450

전자현미경과 조합하여 미소영역의 이물해석, 조성 분석에 최적입니다. 분석 업무전체를 이해하기 쉽도록 flow chart형식의 Navigater를 탑재. 고도인 기능을 쓰기 쉽게한...