BHF 농도 모니터, CS-137

개요

고성능 화학약품 농도분석기기인 BHF Monitor(Model: CS-137)은 반도체 공정 中 NITRIDE 공정에 사용되어지는 BHF용액, 일명 BOE (Buffered Oxide Etch)용액(NH4F+HF+H2O) 중의 각 성분의 농도값을 측정, 표시하여주는 농도분석기기로써 다양한 output제공과 뛰어난 재현성을 바탕으로 사용자분들의 BHF용액 농도관리 및 교환주기 관리를 위한 최적의 제품입니다.

기능

  • 3초의 측정 주기로 300mm 프로세스의 농도관리를 지원.
    3초의 짧은 측정 주기를 실현. 실시간인 농도추종성을 대폭 향상했습니다. multibus는 물론, 원 버스 방식의 세정 장치가 세심한 농도관리를 지원합니다.
  • 컴팩트 설계에 의해 세정 장치의 공간절약화에 공헌.
    바닥면적 종래비 약 2/3(*)의 컴팩트화설계에 의해 세정 장치의 공간절약화에 공헌. 용이하게 세정 장치에 설치할 수 있습니다.
    *당사제품CS-327과 비교.
  • 세정 공정에서의 로트 불량감소에 의해 수율 향상.
    모니터 출력을 이용해서 BHF용액의 보급 제어를 행하는 것에 의해, 재현성이 높은 세정을 실현. 세정 공정에서의 로트 불량을 감소시켜, 수율 향상에 공헌합니다.
  • 풀 오토 측정으로, 간단관리를 실현
    사용자는 BHF용액을 주입하는 것 뿐. 측정은 풀 오토이므로, 측정 시작후의 제어는 일체 불필요합니다. 또, reference 스펙트럼(spectrum) 측정은 공기를 사용하여 물의 농도도 측정가능하기 때문, 용약의 증발이나 칩으로부터의 용출에 의한 물의 농도값 얻을  수 있고, 산화 막 에칭에서 세심한 컨트롤이 가능해집니다.
  • 버블제거장치에 의해, 연속측정이 가능
    플로우 셀 직전에 버블을 분리하기 위하여 버블제거장치을 내장하고, 액을 유실시킨 상태에서의 연속 측정이 가능하게 되었습니다.
  • DC24V를 채용하고, 높은 안전성을 실현

제조원 HORIBA Advanced Techno

사양

Model

CS-137

CS-137-2503

CS-137-1003

Measurement sample

BHF (Hydrofluoric acid/Ammonia fluoride solution)

Measurement principle

Absorption spectrometry

Concentration computation principle

Temperature-compensated multivariate analysis

Measurement range

NH4F: 15.0 to 25.0 %
HF: 0.00 to 3.00 %
H2O: 72.0 to 85.0 %

NH4F: 0.0 to 10.0 %
HF: 0.00 to 3.00 %
H2O: 87.0 to 100.0 %

Reproducibility

NH4F: ±0.3 %

NH4F: ±0.3 %

(Peak to peak)

 

HF: ±0.25 %
H2O: ±1.0 %

HF: ±0.25 %
H2O: ±1.0 %

Chemical

Temperature

20 to 30 °C

conditions

Flow rate

20 to 60 ml/min.

 

Pressure

0.10 to 0.20 MPa

Measurement cycle

Approx. 3 seconds minimum

Equipment temperature

20 to 30 °C

Operation panel

1)Temperature level display:
Ammonia fluoride solution, Hydrofluoric acid, Water

2)Alarm display (Ammonia fluoride solution, Hydrofluoric acid):
Concentration low-low limit, Concentration low limit,
Concentration high limit, Concentration high-high limit

3)Alarm value settings
(Ammonia fluoride solution, Hydrofluoric acid):
Concentration low-low limit, Concentration low limit,
Concentration high limit, Concentration high-high limit

Serial input/output

RS-232C
1)Concentration data:
Ammonia fluoride solution, Hydrofluoric acid, Water

2)Alarm value settings
(Ammonia fluoride solution, Hydrofluoric acid):
Concentration low-low limit, Concentration low limit,
Concentration high limit, Concentration high-high limit

Parallel input

12 to 30 V DC (photocoupler insulated)
Parallel concentration alarm (ON/OFF)

Parallel output

Maximum current when open collector output is ON: 5 mA
Maximum voltage when open collector output is OFF: 30 V
1)Alarm output: Ammonia fluoride solution, Hydrofluoric acid:
Concentration low-low limit, Concentration low limit,
Concentration high limit, Concentration high-high limit
2)Device error (including liquid leakage)
3)Under measurement

Analog output

4 to 20 mA (2 outputs: NH4F concentration, HF concentration)

Power

24 V DC ±10%, 2 A

Dimensions

205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

8.1 (W) x 13 (D) x 10.6 (H) in

Mass

Approx. 11 kg

Connection pipe size

For inlet and outlet: Outer diameter 6 mm (inner diameter 4 mm)

Pipe connection

Nippon Pillar Super type