약액농도모니터

개요

에칭 공정 및 세정 공정에 있어서의 각종약액농도를 고정밀도로 모니터링.
반도체제조에 있어서의 에칭 공정 및 세정 공정으로 사용되는 각종약액을 고정밀 농도 모니터링을 가능하게 한 HORIBA의 약액농도 모니터CS-100F1시리즈.
광 fiber에서 광신호를 전파하는 것으로, 셀을 세정 장치내 배관에 직접 설치, 인라인·실시간 측정을 실현.
또한 1대의 농도 모니터에서 최대 4종 (약액 또는 레인지)의 측정을 가능하게 하였습니다. 또한 피드백 농도 컨트롤이 필요한 정밀도가 중요한 측정에 대응하고, Cell unit type도 준비하고 있습니다.

기능

-1대의 농도 모니터에서 최대 4종 (약액 또는 레인지)까지 측정할 수 있는 멀티 모니터링.
  1대의 모니터에, 최대 4종(약액 또는 레인지)의 교정 계수를 기억시켜, 원 버스나 장잎방식의 세정 장치와 같이, 1로트에서 복수약액 (또는 다른 약액비율)의 농도 모니터가 가능합니다.
-약 3초의 측정 주기로 300mm 프로세스의 농도관리를 지원.
  약 3초와 짧은 측정 주기로 고속응답성을 실현. multibus는 물론, 원 버스·장잎방식의 세정 장치가 세심한 농도관리를 지원합니다.
-실시간의 농도관리를 실현하는 인라인 측정. 정밀도 중심의 cell unit type도 준비.
  세정 장치의 메인배관에 직접 설치할 수 있는 인라인 셀의 사용으로, 실시간 농도측정을 가능하게 했습니다. 또, 안정성을 중시한 cell unit type도 라인업 하고, 모니터 출력을 채용하여 피드백 제어에도 대응. 약액농도값의 허용 범위를 유지하는 동시에, 쓸데 없는 시약교환을 없앨 수도 있습니다.
-세정 장치의 공간절약화에 공헌하는 경량 컴팩트 설계.
  바닥면적은 당사의 종래기종에 약 2/3의 컴팩트 설계에 의해, 세정 장치의 공간절약화에 공헌. 세정 장치로의 설치가 간편함과 동시에, 경량이므로 세정 장치 위에 설치하는 것도 가능합니다.
-세정 공정에서의 로트 불량감소로 제품 비율 향상.
  모니터 출력을 이용해서 각 성분약액의 보급 제어를 행하는 것으로, 재현성이 높은 세정을 실현. 세정 공정에서의 로트 불량을 감소시켜, 제품 비율 향상에 공헌합니다.
-전기부와 측정부의 완전분리에 의해 안전성이 향상.
  광 fiber를 광원신호의 전도에 사용하는 것으로, 농도 모니터와 셀의 완전분리 설치를 실현. 농도 모니터를 약액분위기외에 설치할 수 있으므로, 부식등의 걱정이 없습니다.


제조원 HORIBA

사양

Model

CS-151F1

CS-152F1

CS-150F1

Target of measurement

SC-1

(ammonia/hydrogen peroxide aqueous solution)

SC-2

(hydrochloric acid/hydrogen peroxide aqueous solution)

SPM

(sulfuric acid/hydrogen peroxide aqueous solution)

Multi-monitoring with one unit of up to 4 types of chemical solutions or ranges possible.

Measurement principle

Absorption spectrometry

Concentration computation principle

Temperature-compensated multivariate analysis

Measurement range

(mass %)

 

NH3 : 0.00% to 1.00%

H2O2 : 0.00% to 5.00%

H2O : 94.0% to 100.0%

HCI : 0.00% to 2.00%

H2O2 : 0.00% to 2.00%

H2O : 96.0% to 100.0%

H2SO4 : 70.0% to 96.0%

H2O2 : 0.00% to 10.00%

H2O : 4.0% to 30.0%

Repeatability (mass %)

(within ±1% room temperature)

 

NH3 : ±0.15%

H2O2 : ±0.30%

H2O : ±1.5%

HCI : ±0.15%

H2O2 : ±0.15 %

H2O : ±1.5%

H2SO4 : ±0.50%

H2O2 : ±0.50%

H2O : ±1.5%

Sample solution temperature

20 to 80 : (when using Inline cell)  20 to 30 : (when using cell unit)

Measurement cycle

Approx. 3 seconds

Content of

• 1st component: measured concentration value (%)

• Error code

 

LCD and input

 

 

• 2nd component: measured concentration value (%)

• 3nd component: measured concentration value (%)

• 1st and 2nd components: concentration alarm status

• Parallel concentration alarm output invalid status

• Serial/parallel status

• Background compensation data

 

 

 

RS-232C serial input

• Serial/parallel status switching

• Measurement data transfer request

• 1st and 2nd component concentration alarm setting

• Parallel concentration alarm output status

(valid/invalid)

• Target measurement solution switching

 

 

 

Parallel input

12 to 30 V DC (photocoupler insulated)

• Parallel concentration alarm output

• Target measurement solution switching

• Background compensation

 

 

 

Parallel output

Open collector output (photocoupler insulated)

Max. current when on:

DC 5 mA (no internal protection resistor)

Max. ignition voltage when off: 30 V DC

 

 

• 1st component concentration alarm, 4 types

• 2nd component concentration alarm, 4 types

• Device error

• Measuring

• Target measurement solution type

• Background compensation status

 

 

 

Solution temperature input

Terminal block connection (M3 terminal screws)
• Platinum resistance temperature sensor: Pt100 (Pt100 sensor should be prepared by customers)

Analog output

• 1st component concentration alarm, 4 types: 4 to 20 mA

• 2nd component concentration alarm, 4 types: 4 to 20 mA

* We also support other measurement ranges. Please specify when ordering.

Fiber optic cable

Dedicated CS-100F1 Series fiber optic cable

(25 ±15: installation temperature)

ample cell

We can supply dedicated sample cells (inline cell or cell unit) for various kinds of chemical solutions.

Power supply

100 V to 230 V AC (single phase) ±10%, 50/60 Hz, approx. 100 VA

Dimensions

205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm 8.1 (W) x 13.0 (D) x 10.6 (H) in (excluding protruding part)

Weight

Approx. 11 kg

Analog output

4 to 20 mA

(2 outputs: H2SO4: 50.0 to 100.0 %/H2O: 0.00 to 10.00 %)

The analog output can be prepared to correspond to each

requirement by users. (Please specify when ordering.)

Power

24 V DC ±10%, 2 A

Dimensions

205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

8.1 (W) x 13 (D) x 10.6 (H) in

291 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

11.5 (W) x 13 (D) x 10.6 (H) in

Mass

Approx. 11 kg

Approx. 12 kg

Connection pipe size

For inlet and outlet: Outer diameter 6 mm (inner diameter 4 mm)

Pipe connection

Nippon Pillar Super type

외형도

Dimension of CS-100F1