FPM 모니터, CS-153

개요

CS-153은, 반도체【WET-ETCHING Process】의 엄격한 니즈에 대응하기 위해서 개발된 고정밀도인 약액농도 모니터입니다. 산화막과 함께 금속불순물을 제거하기 위해서 사용되는 FPM용액(HF/H2O2/H2O)의 각 성분농도를 실시간으로 측정하고, 알람에서 시약교환이나 자동보급하는 타이밍을 알립니다. 이것에 의해 FPM용액의 농도를 허용 범위에 유지하는 동시에 쓸데 없는 시약교환을 없앨 수 있습니다.

기능

  • 3초의 측정 주기로 300mm 프로세스의 농도관리를 지원.

    3초의 짧은 측정 주기를 실현. 실시간인 농도 관리에 적합합니다. multibus 물론, 버스 방식의 세정 장치가 세심한 농도관리를 지원합니다.

  • 컴팩트 설계에 의해 세정 장치의 공간절약화에 공헌.

    바닥면적 종래비 2/3(*) 컴팩트화설계에 의해 세정 장치의 공간절약화에 공헌. 용이하게 세정 장치에 설치 있습니다.

    *당사제품CS-300시리즈와의 비교.

  • 세정 공정에서의 로트 불량감소에 의해 효율 향상.

    모니터 출력을 이용해서 FPM용액의 보급 제어를 행하는 것에 의해, 재현성이 높은 세정을 실현. 세정 공정에서의 로트 불량을 감소시켜, 효율 향상에 공헌합니다.

  • 오토 측정으로, 간단관리를 실현.

    사용자는 FPM용액을 도입하는 . 측정은 오토이므로, 측정 시작후의 제어는 일체 불필요합니다. , reference 스펙트럼(spectrum) 측정은 공기를 사용하고, 유틸리티로서의 물은 불필요합니다.

  • 버블제거 기능을 장착하여, 연속 측정이 가능.

    버블제거기능을 내장하고, 플로우 직전에 거품을 제거함으로써, 액을 유실시킨 상태에서의 연속 측정이 가능하게 되었습니다.

  • DC24V 채용하고, 높은 안전성을 실현.

    전원은, 저전압DC24V 채용하고, 감전에 대한 안전성을 한층 향상시켰습니다. 누수 센서 내장에 의해 누수 발생시에 FPM용액공급 차단등의 긴급대응을 가능하게 하고 있습니다.


제조원 HORIBA Advanced Techno

사양

Model specifications

CS-153: No cooling unit

CS-153C: Integrated cooling unit

Measurement sample

FPM(HF/H2O2 solution)

Measurement principle

Absorption spectrometry

Concentration computation principle

Temperature-compensated multivariate analysis

Measurement range

HF: 0.00 to 10.00%

H2O2: 0.00 to 10.00%

H2O: 80.0 to 100.0%

Please consult HORIBA for information concerning other measurement ranges.

Reproducibility (Peak to peak)

TMAH: ± 0.30%

H2O2: ± 0.30%

H2O: ± 2.0%

Chemical conditions

CS-153:

Temperature: 20 to 30°C

Flow rate: 20 to 60 mL/min.

Pressure: 0.10 to 0.20 MPa

CS-153C:

Temperature: 20 to 80°C

Flow rate: 20 to 40 mL/min.

Pressure: 0.10 to 0.20 MPa

Measurement cycle

Approx. 2 seconds minimum

(not including chemical replacement and cooling times)

Equipment temperature

20 to 25

Operation panel

1) Temperature level display: HF, hydrogen peroxide, water

2) Alarm display: HF, hydrogen peroxide: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit

3) Alarm value settings: HF, hydrogen peroxide: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit

Serial input/output

RS-232C

1) Concentration data: HF, hydrogen peroxide

2) Alarm value settings: HF, hydrogen peroxide: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit Parallel input 12 to 30 V DC (photocoupler insulated) Parallel concentration alarm (ON/OFF)

Parallel output

Maximum current when open collector output is ON: 5 mA

Maximum voltage when open collector output is OFF: 30 V

1) Alarm output: HF, hydrogen peroxide: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit

2) Device error

3) Liquid leakage

Analog output

4 to 20 mA (2 outputs: HF concentration, H2O2 concentration) *Regardless of the range specifications, the output of 4 ~ 20 mA can be made to correspond to 0 ~ 10% concentrations.

(Please specify when ordering.)

Power supply

24 V DC ± 10%, 2 A

Dimensions

CS-153: 205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

CS-153C: 291 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

Weight

CS-153: Approx. 11 kg

CS-153C: Approx. 12 kg

Connection pipe size

For input and exhaust: Outer diameter 3 mm (inner diameter 2 mm)

Pipe connection

Nippon Pillar Super type