HF 모니터 CM-200A/210A

개요

고성능 화학약품 농도분석기기인 HF Monitor(Model:CM-200/210)는 반도체 제조공정 중 세정 및 식각공정에 사용되는 HF(불산)약액의 각 성분별 농도값을 분석,표시하는 농도분석계로써 국내 반도체 제조공장에서 사용되는 HF用 농도분석계의 90%이상을 차지하고 있는 뛰어난 제품입니다.

기능

  • 불산 농도를실시간 디스플레이
    불산농도를 전기 전도율 센서로 검지, <전기 전도율>- <불산농도>의 검량선에서, 자동적-실시간으로 불산농도를 표시합니다.
  • 반도체제조 공정에 있어서의 저농도영역에서의 높은 정밀도를 실현 반도체제조 프로세스에서 사용되는 불산용액의 거의 대부분을 커버하는 0-1/2/5/10/20/50mass%레인지를 라인 업. 특히, 0-1mass%의 저농도 레인지라도 ±2% F. S. 이내의 재현성 정밀도를 실현. 최근 요구가 많은 메모리 생산 라인에서의 저농도영역농도관리에 위력을 발휘합니다.
  • 안정된 측정을 보증하는 센서 
    센서 접촉부분은 PFA수지로 완전히 몰드 되어 있어, 불산용액에 의한 금속부식의 우려가 없습니다. 또, 샘플 용액에의 금속등의 불순물의 용출도 없고, 안정된 측정이 가능합니다.
  • Upper/lower limit alarm
    보다 확실한 프로세스 관리 때문에 농도출력 및 농도상한·농도상 상한·농도하한·농도하하한의 각 경보출력을 갖추고 있습니다.
  • 다양한 용도로사용 가능Appropriate for a variety of uses
    콤팩트한 DIN96사이즈의 변환기를 채용. 소형·경량으로 불산의 희석 장치, 공급 장치, 칩의 세정 장치에의 설치에 최적입니다. 또, 센서는 액에 직접 담그는 형태(CM-200A)와, 프로세스 배관중에 설치하는 형태(CM-210A)를 라인 업. 용도에 맞춘 선택을 하실 수 있습니다.

제조원 HORIBA Advanced Techno

사양

Model

Hydrofluoric acid concentration monitor

Type

 

CM-200A: Dip type sensor
CM-210A: Flow type sensor

Principle of measurement

Conductivity measuring method by electromagnetic induction

Measurable range

 

Any single range of the ranges below
HF: 0 to 1/2/5/10/20/50 mass%
Conductivity: 0 to 100/200/500/1000 mS/cm.
Optional range(depending on specifications)

Repeatability

Within +/-2% of full scale

Stability

Within +/-2% of full scale/day

Response time

90% response: within 5 seconds

External output

 

Serial communication: RS-232C
HF concentration output; 4mA to 20mA DC(Insulation output), maximum load resistance 500Ω
Concentration alarm output; High, Low(No-voltage c-contract)
H-High, L-Low(No-voltage a-contract)
Error output(Opens when an error occurs)
Contact rating 30V DC, 0.2A

Power

 

AC power model: 100V to 230V AC+/-10%, 50Hz/60Hz, 8VA
DC power model: 24V DC +/-10%, 3W

Condition of sample water

Temperature: 10℃ to 40℃(Standard temperature 25℃)
Pressure: Dip type : 0 MPa to 0.02 MPa
Flow type: 0 MPa to 0.1 MPa

Ambient conditions

 

Temperature: 5℃ to 35℃
Humidity: Less than 80%