SC-1 모니터, CS-131

개요

CS-131은, 반도체제조의 세정 공정에서  SC-1용액의 약액농도 모니터로, 종래에 없는 고속응답성과 컴팩트화를 실현. 파티클(particle)이나 유기물의 제거에 사용되는 SC-1용액(NH3/H2O2/H2O)의 각 성분농도를 상시 모니터 합니다. 모니터 출력을 채용하고있고, 피드백 제어로 행하는 것에 의해, SC-1용액의 농도를 허용 범위에 유지하는 동시에 쓸데 없는 용액교환을 없앨 수 있습니다. 또 냉각기일체형도 라인 업하고, 광범위한 샘플 온도범위에 대응했습니다.

기능

  • 300mm 프로세스의 농도관리를 2초의 측정주기로 지원합니다.
    multibus는 물론, onebus방식의 세정 장치가 세심한 농도 관리를 지원합니다.
    *용액의 교체시간, 냉각시간은 포함하지 않습니다.
  • 컴팩트한 설계에 의해 세정 장치의 공간절약화에 공헌, 바닥면적은 종래대비 약2/3*의 컴팩트한 설계에 의한 세정장치의 공간절약화에 기여합니다. 용이하게 세정 장치를 넣을 수 있습니다.
    *당사제품CS-220 시리즈와 비교
  • 세정공정에서의 로트불량 감소로 제품 수율 향상.
    모니터로부터 결과를 출력함으로 해서 SC-1용액의 교환을 조정하고, 재현성이 높은 세정을 실현합니다. 세정 공정에서의 로트 불량을 감소시켜, 제품 수율 향상에 공헌합니다.
  • 풀 오토 측정으로, 간단한 관리를 실현.
    측정은 풀 오토이므로, 측정 시작 후의 제어는 일체 불필요합니다. 또 공기는 reference 스펙트럼 측정을 위해 사용되어지고, 유틸리티로서의 물은 불필요합니다.
  • 버블의 영향을 제거시켜 고온 샘플도 측정 가능.
    버블제거 기능으로 버블을 분리하고, 측정중에는 flow cell에 거품이 혼입되는 것을 최소한으로 억제하는 기술 채용. 또 냉각기일체형이라면 고온의 샘플도 직접 모니터에 흘릴 수 있습니다.
  • DC24V를 채용하여, 높은 안전성을 실현                                                                                                 전원은, 저전압 DC24V를 채용하여, 감전에 대한 안정성을 한층 더 향상시켰습니다. 또 누수 센서 내장으로 누수 발생시에 SC-1용액 공급을 차단하는등의 긴급대응을 가능하게 하고 있습니다.

제조원 HORIBA Advanced Techno

사양

제품사양

CS-131: No cooling unit

CS-131C: cooling unit 일체형

측정대상

SC-1 (암모니아/과산화수소수 용액)

측정원리

흡수분광법 Absorption spectrometry

농도산출원리

온도보상형 다변량 해석법

측정범위

NH3: 0.00 to 5.00%

H2O2: 0.0 to 10.00%

H2O: 85.0 to 100.0%

 

Reproducibility (Peak to peak)

NH3: ± 0.25%

H2O2: ± 0.3%

H2O: ± 1.5%

Chemical conditions

CS-131:

Temperature: 20 to 30°C

Flow rate: 20 to 60 mL/min.

Pressure: 0.10 to 0.20 MPa

CS-131C:

Temperature: 20 to 80°C

Flow rate: 20 to 40 mL/min.

Pressure: 0.10 to 0.20 MPa

Measurement cycle

Approx. 2 seconds minimum

(not including chemical replacement and cooling times)

Equipment temperature

20 to 25

Operation panel

1) Temperature level display: Ammonia, hydrogen peroxide, water

2) Alarm display: Ammonia, hydrogen peroxide: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit

3) Alarm value settings: Ammonia, hydrogen peroxide: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit

Serial input/output

RS-232C

1) Concentration data: Ammonia, hydrogen peroxide

2) Alarm value settings: Ammonia, hydrogen peroxide: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit Parallel input 12 to 30 V DC (photocoupler insulated) Parallel concentration alarm (ON/OFF)

Parallel output

Maximum current when open collector output is ON: 5 mA

Maximum voltage when open collector output is OFF: 30 V

1) Alarm output: Ammonia, hydrogen peroxide: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit

2) Device error

3) Liquid leakage

Analog output

4 to 20 mA (2 outputs: NH3 concentration, H2O2 concentration) *Regardless of the range specifications, the output of 4 ~ 20 mA can be made to correspond to 0 ~ 10% concentrations.
(Please specify when ordering.)

Power supply

24 V DC ± 10%, 2 A

Dimensions

CS-131: 205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

CS-131C: 291 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

Weight

CS-131: Approx. 11 kg

CS-131C: Approx. 12 kg

Connection pipe size

For input and exhaust: Outer diameter 3 mm (inner diameter 2 mm)

Pipe connection

Nippon Pillar Super type