TMAH 전도도계 HE-960TM

개요

TMAH의 농도관리에 최적
TMAH용 전기전도도계 HE-960TM은, 반도체·액정 프로세스에서 이용할 수 있는 photoresist 현상액의 주성분인 TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)용액의 전기 전도도를 고정밀도로 측정합니다.
전용 센서의 FES-120Ni는 4극식을 채택하여 폭넓은 측정범위를 가지고있고,내구성이 좋기 때문에 TMAH측정에 최적입니다.

기능

  • 넓은 측정범위
    측정 범위는 0~200mS/cm, 저농도로부터 고농도까지 측정할 수 있습니다.
  • 인라인 측정
    사용지점과 가까운 곳에서 연속 측정할 수 있습니다.
  • 내구성이 높은 전용 센서
    재질은 니켈을 사용하고 있습니다.
    씰 구조를 강화했습니다.
  • 자동온도보상
    TMAH의 온도보상 계수가 입력되어 있으므로, 별도의 설정이 불필요합니다.
  • Pb free를 채용
    환경공해를 저감하기 위해, 기판의 부품에 사용되는 땜납을 모두 Pb free로 하였습니다.

제조원 HORIBA Advanced Techno

사양

Model

HE-960TM

Measurement method

Electrode type (4-electrode method)

Cell constant

Approx. 1.0/cm

Measuring range

Measurement range:

0.00 to 20.00,   0.0 to 200.0     mS/cm
0.000 to 2.000, 0.00 to 20.00   S/m

Seawater salinity conversion value: 0.00 to 4.00 %

NaCl salinity conversion value: 0.0 to 20.0 %

0°C to 100°C (The displayed decimal place is selectable among 0, 1,and 2.)

Repeatability Within

Conductivity display

Within ±0.5%

of the full scale (in equivalent input)

Salinity conversion display

Within ±1%

Linearity Within

Conductivity display

Within ±0.5%

of the full scale (in equivalent input)

Salinity conversion display

Within ±1%

Transmission output

4 mA to 20 mA DC: input/output isolated type
Maximum load resistance: 900Ω
Transmission output range: Freely selectable within the measurement range

Contact output

Outputs: 2 points
Alarm contact output (R1 and R2)

Calibration function

Conductivity
Temperature

Transmission output hold feature

· Previous value hold
· Optional value hold
· Continuous
Selectable from the above (However, only the previous value hold is available in the maintenance Mode.)

Self-diagnosis function

· Sensor diagnosis
· Out of the measurement range
· A/D converter scale over
· Converter error

Temperature compensation

· Reference temperature : 25°C TMAH temperature coefficient (Initial setting)
· Temperature characteristics of NaCl
· Freely selectable reference temperature and temperature coefficient
· No temperature compensation

Power supply

Rated voltage 100 V to 240 V AC, 50/60 Hz, 10 VA (max.)

Structure

Indoor-use panel installation type Panel:
IP65 dust and water proof structure

Protective structure

Panel: IP65 (IEC60529, JIS C0920)

Conforming standards

CE Marking
FCC Rule

External dimensions

96(W) mm x 96 (H) mm x 115 (D) mm
Case depth: approx. 105 mm (when panel-mounted)

Mass

Approx. 500 g

Compatible sensors

FES-126Ni conductivity sensor, cell constant 100/m (1.0/cm)

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