TMAH/H2O2 모니터, CS-139E

개요

CS-139E는 반도체제조에 있어서의 세정 공정에서 TMAH/H2O2용액용으로, 고정밀도로 약액농도 모니터합니다. 종래에 없는 고속응답성과 컴팩트화를 실현. 파티클(particle)이나 유기물의 제거에 대체 SC-1로서 사용되는 TMAH/H2O2용액(TMAH/H2O2/H2O)의 각 성분농도를 상시 모니터링 합니다. 모니터 출력을 채용한 피드백 제어로 행하여, TMAH/H2O2용액의 농도를 허용 범위에 유지하는 동시에 쓸데 없는 약액교환을 없앨 수 있습니다. 또 냉각기일체형도 라인 업하고있고, 광범위한 샘플 온도범위에 대응했습니다.

기능

-약 3초의 측정 주기(※)로 300mm 프로세스의 농도관리를 지원.
  약 3초의 짧은 측정 주기(※)로 고속응답성을 실현. multibus는 물론, 원 버스 방식의 세정 장치가 세심한 농도관리를 지원합니다. (※약액의 치환 시간, 냉각 시간은 포함하지 않습니다)
-컴팩트 설계에 의해 세정 장치의 공간절약화에 공헌.
 바닥면적은 종래비 약 2/3(※)의 컴팩트한설계로 세정 장치 공간절약화에 공헌. 용이하게 세정 장치에 설치할 수 있습니다. (※당사제품CS-220시리즈와의 비교)
-세정 공정에서의 로트 불량감소로 제품 비율 향상.
  모니터 출력을 이용해서 TMAH/H2O2용액의 보급 제어를 행하여, 재현성이 높은 세정을 실현. 세정 공정에서의 로트 불량을 감소시켜, 제품 비율 향상에 공헌합니다.
-풀 오토 측정으로, 간단관리를 실현.
 사용자는 TMAH/H2O2용액을 공급하는 것 뿐. 측정은 풀 오토이므로, 측정 시작후의 제어는 일체 불필요합니다.
-버블에대한 대책으로 고온 샘플도 측정 가능.
  버블제거기로 버블을 분리하고, 측정중에도 전자징치에 의해 플로우 셀내에 버블이 혼입하는 것을 최소한에 억제. 또 냉각기일체형이라면 고온의 샘플도 직접 모니터링할 수 있습니다.
-DC24V를 채용하고, 높은 안전성을 실현.
  전원은, 저전압DC24V를 채용하고, 감전에 대한 안전성을 한층 더 향상시켰습니다. 또 누수 센서 내장에 의해 누수 발생시에 TMAH/H2O2용액공급 차단등의 긴급대응을 가능하게 하고 있습니다.


제조원 HORIBA Advanced Techno

사양

Model specifications

CS-139E: No cooling unit
CS-139EC: Integrated cooling unit

Measurement sample

TMAH/H2O2 (TMAH/H2O2 solution)

Measurement principle

Absorption spectrometry

Concentration computation principle

Temperature-compensated multivariate analysis

Measurement range

TMAH: 0.00 to 0.50%
H2O2: 0.00 to 2.00%
H2O: 97.5 to 100.0%
Please consult HORIBA for information concerning other measurement ranges.

Reproducibility (Peak to peak)

TMAH: ± 0.10%
H2O2: ± 0.25%
H2O: ± 1.0%

Chemical conditions

CS-139E:
Temperature: 20 to 30°C
Flow rate: 20 to 60 mL/min.
Pressure: 0.10 to 0.20 MPa


CS-139EC:
Temperature: 20 to 80°C
Flow rate: 20 to 40 mL/min.
Pressure: 0.10 to 0.20 MPa

Measurement cycle

Approx. 2 seconds minimum
(not including chemical replacement and cooling times)

Equipment temperature

20 to 25

Operation panel

1) Temperature level display: TMAH, hydrogen peroxide, water
2) Alarm display: TMAH, hydrogen peroxide: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit
3) Alarm value settings: TMAH, hydrogen peroxide: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit

Serial input/output

RS-232C
1) Concentration data: TMAH, hydrogen peroxide
2) Alarm value settings: TMAH, hydrogen peroxide: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit Parallel input 12 to 30 V DC (photocoupler insulated) Parallel concentration alarm (ON/OFF)

Parallel output

Maximum current when open collector output is ON: 5 mA
Maximum voltage when open collector output is OFF: 30 V
1) Alarm output: TMAH, hydrogen peroxide: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit
2) Device error
3) Liquid leakage

Analog output

4 to 20 mA (2 outputs: TMAH concentration, H2O2 concentration) *Regardless of the range specifications, the output of 4 ~ 20 mA can be made to correspond to 0 ~ 10% concentrations.
(Please specify when ordering.)

Power supply

24 V DC ± 10%, 2 A

Dimensions

CS-139E: 205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm
CS-139EC: 291 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

Weight

CS-139: Approx. 11 kg
CS-139EC: Approx. 12 kg

Connection pipe size

For input and exhaust: Outer diameter 3 mm (inner diameter 2 mm)

Pipe connection

Nippon Pillar Super type