Automatic Pressure Regulator

개요

각종 프로세스의 라인 압력 제어에 최적
압력 제어 설정 신호의 입력에 의해 라인 압력의 원격 조정이 가능
고성능 압력 센서와 Piezo Valve를 내장
UItra Clean 대응의 프로세스 라인에 최적

 

기능

  • UItra Clean , All metal (M타입)
  • 고속 응답 속도 0.5 sec 이내
  • 마운트 프리 디자인 부착 자세가 자유롭고, 전기신호에 의한 제어가 가능한 때문, 가스계 설계의 자유도가 큰폭으로 향상합니다.
  • 일차측 제어 타입(-B타입), 2차측 제어 타입 구성
  • 케이지압력타입, 절대압력중 선택하실 수 있습니다

제조원 HORIBA STEC

사양

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외형도

UR-7300_schematics