Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X series

개요

반도체제조장비의 주요 부품 Mass Flow Controller. 그 성능, 품질은 반도체 품질 자체에 영향을 주는 정도로 중요한 역할을 담당하고 있습니다.그런 엄격한 업계에 있어 고품질로 기능성을 높인 제품을 계속해서 시장에 투입하고, 세계 30%이상을 자랑하고 있는 호리바에스텍이기 때문에 종래의 개념을 깨뜨린 완전히 새로운 종류의 Mass Flow Controller 가 탄생했습니다. 이제까지 가스의 종류마다, 다양한 유량에 따라 필요한 Mass Flow의 기능을 집약하고 있습니다. 고객님들의 자유대로 필요한 Mass Flow를 사양 변경 할 수 있습니다. 게다가 RoHS 규제에 대응해, 환경보존, 기업가치의 향상에도 역할을 하고 있습니다. 미래의 매력이 넘치는 고성능, 고부가가치의 [x]. 바로 반도체산업의 미래를 책임질 Mass Flow의 탄생입니다.

기능

Multi Range/Multi Gas 대응
고객의 편의대로 Mass Flow Controller 의 사양 변경 가능합니다.
소량 액체(5SCCM F.S)부터 대유량 (200SLM F.S.)까지 모두 구성
고정도
±1.0% S.P.(set point) 보증
고속응답
Full range 1초 이내(T98) 다양한 PID를 탑재
소형화
면간거리 106mm(50SLM이하,1/4VCR Type), 1.125inch 가스파넬에 대응.

 


제조원 HORIBA STEC

사양

SEC-Z512X and SEC-Z522X Digital / Analog Mass Flow Controller, for flows up to 50slm N2 equivalent. Detailed specification click here.

SEC-Z532X and SEC-Z542X Digital / Analog Mass Flow Controller, for flows up to 200slm N2 equivalent. Detailed specification click here.

SEC-Z514X and SEC-Z524X Devicenet™ Mass Flow Controller, for flows up to 50slm N2 equivalent. Detailed specification click here

SEC-Z534X and SEC-Z544X Devicenet™ Mass Flow Controller, for flows up to 200slm N2 equivalent. Detailed specification click here.

외형도

Product Dimensions Multi Range/ Multi Gas SEC-Z500X VCR type
Product Dimensions Multi Range/ Multi Gas SEC-Z500X Surface mount type