Reticle/Mask Particle Detection System, PR-PD3

개요

 

높은 가동률과 높은 안정성으로, 많은 반도체 제조 현장으로부터 높게 평가되고 있는 HORIBA의 이물 검사 장치 PD시리즈 입니다. 장기간 안정적으로 가동되는 반송계와 높은 수율의 고성능 기능을 그대로 이어받아, Compact하게 Upgrade 한 것으로, Reticle/Mask 이물 검사 장치 PR-PD3입니다. 기존의(PR-PD2)와 비교해서 약1/2의 소형화를 실현한 동시에, 낮은 운용비를 실현 하였으며, 0.5μm의 검출 감도에 의한 넓은 범용성 및 Reticle/Mask 상의 이물 측정과 이물 검사에 필요한 폭넓은 요구에 만족하는 심플한 장치가 탄생했습니다.

기능

 

뛰어난 기능으로 효과적인 이물 검사를 할 수있습니다.

  • 기존 대비1/2의 소형 설계.
    PR-PD2
    와 비교해서, 바닥 면적비로1/2의 소형화를 실현 하였습니다. 점유 면적이 큰폭으로 작아져, Operation Unit(옵션)을 추가하여도 자유로운 Lay-Out이 가능합니다
  • Low Operaion Cost 실현
    레이저빛으로는 경제성을 자랑하는 He-Ne레이저를 채용하는 것과 동시에, 심플한 스테이지 반송계를 채용하는 등, 유지비·운용비의 대폭적인 절감을 실현했습니다.
  • 효과적인 오류 검출 대책 기능
    미세하지 않은 패턴용의 polarized differential function과 미세한 패턴용의 low-pass difference function등 두가지 기능을 탑재하였습니다. 이 두 방법을 병행하여, OPC 등 양쪽 모두의 특성을 가지는 패턴의 오류를 검출 할 수 있습니다.

측정원리

이물의 검출 원리는 레이저 산란 방식을 사용하고 있습니다. 레이저의 빛이 이물에 조사되면 산란되고, 그 산란 강도를 측정하는 것으로써 이물을 검출합니다. Galvano Mirror에 의해 검사면 전체에 걸쳐서 레이저 빛을 주사해, 산란된 빛의 강도를 측정합니다. 레이저빛은 Reticle이나 Mask상의 패턴에 의해서도 산란이 되지만, 이물과 패턴과는 산란되는 빛의 편광 특성이 다름으로, 광학계에 편광 소자를 삽입하여, 양자를 변별 하게 됩니다. 이물과 패턴과는 신호에 차이가 있는 것에 주목해,독자적으로 개발한 lowpass filter에 의해 변별율을 향상시켰습니다. 또한, He-Ne레이저(633nm)를 채용하여 안정된 가동을 할 수 있습니다. 이러한 기술 개발을 통하여, 첨단 Mask에서 범용 Mask까지 폭넓은 대응이 가능해졌습니다. 


제조원 HORIBA

사양

Specification Attribute

Specification Value

Inspection object

Particles on reticle/mask with or without pellicle

Principle

Laser scattering method

Inspection time

Approx. 7 min/2 surfaces (5 inch reticle), Approx. 7 min from inspection start (switch ON) to test result display for two surface (5 inchs) inspection

* High throughput model specific to the glass/pellicle (approx. 4 min. for two surface inspection) is also available.

Detectable particle size

Pattern surface: 0.5 µm, Glass surface: 5.0 µm, Pellicle surface: 10.0 µm (* PSL equivalent)

Reticle size

5, 6 or 7 inch (Please specify when ordering.)

Reticle cassette (Please specify when ordering)

Applicable to the HORIBA standard cassette for 5, 6, 7 inches as well as stepper cases unique to individual maker for 5, 6 inches. (Single size of reticle and cassette handling is the standard. Contact us as to the multiple cassette handling system.)

Inspection result

Data mapping display on the FPD

Dimensions

Approx. 900 (W) x 1350 (D) x 1590 (H) mm
Approx. 35.4 (W) x 53.1 (D) x 62.6 (H) in
(Dimensions will vary depending on the reticle cassette specifications.)

 

Utilities

Installation site

Clean room or clean booth, class 100 or better

Temperature

23 ±1°C

Power

100 to 230 V AC, 7.5 to 5 A, 50/60 Hz, single phase

Vacuum source

Pressure difference 8.0 x 104 Pa or more, 50 L/min