Reticle / Mask Particle Detection System, PR-PD5

개요

PD시리즈의 고성능을 이어가면서, 한층 더 소형화 되었으며, 낮은 가격을 실현 하였습니다. reticle stockers 나 steppers, 세정 장치등의 장비와 결합이 가능합니다.

  • reticle 반전 기구
  • 0.5~50μm선택 가능
  • 장비 내장/조합형

기능

뛰어난 기능으로 효과적인 이물 검사를할수 있습니다.

  • 낮은 운용비 실현.
    광원으로는 경제성을 자랑하는 He-Ne레이저를 채용하고 있으며, 간단한 Stage 반송계를 채용하는 등, Low Cost를 실현하였습니다.
  • 효과적인 오류 검출 대책 기능.
    미세하지 않은 패턴용의 polarized differential function과 미세한 패턴용의 low-pass difference function두가지 기능을 탑재하여  이 두 방법을 병행하여 사용 함으로써, OPC 등 양쪽 모두의 특성을 가지는 패턴의 오류 검출 대책을 효과적으로 실시할 수 있습니다.
    • 넓은 범용성으로 다양한 용도
      패턴위의 0.5μm의 이물 검출 감도에 의해, Reticle/Mask 위의 이물 검출은 물론, 유리/페리클 각면을 높은 수율로 측정합니다.

o     Reticle/Mask 제조 공정

마스크/레티클 Blank의 이물 측정.

EB에서 Lighting·세정 후의 패턴/ 유리면의 이물측정.

페리클 첨부후에 패턴/유리/페리클 각면의 이물 측정.

첨부전의 페리클의 이물 측정(옵션 기능).

o     노광 공정

Reticle/Mask의 수입 검사.

노광전의 Reticle/Mask의 루틴 이물 측정.

Reticle/Mask의 정기적인 이물 측정.

  • 뛰어난 기능으로 효과적인 이물 검사를 할 수 있습니다.
    • 자동 좌표 보정 기능을 탑재.

3개의 투과광전센서를 사용해 레티클 단면을 검출해, Robot Arm상에서의 레티클의 위치 차이를 자동으로 보정 합니다. 항상 Reticle 중심(0,0), Reticle 단면에 따른 좌표계로 결과를 표시합니다.

    • 다기능 첨단 프로그램을 채용.

패턴 마킹이 기능하고, 이물 마킹 기능이 하며, 데이타베이스 관리 기능을 가지는 HORIBA 독자적인 다기능 소프트를 채용하고 있습니다.

    • 데이터 관리 기능에 의해, 다채로운 리포트의 출력이 가능 합니다.

측정원리

이물의 검출 원리는 레이저 산란 방식을 사용하고 있습니다. 레이저의 빛이 이물에 조사되면 산란되고, 그 산란 강도를 측정하는 것으로써 이물을 검출합니다. Galvano Mirror에 의해 검사면 전체에 걸쳐서 레이저 빛을 주사해, 산란된 빛의 강도를 측정합니다. 레이저빛은 Reticle이나 Mask상의 패턴에 의해서도 산란이 되지만, 이물과 패턴과는 산란되는 빛의 편광 특성이 다름으로, 광학계에 편광 소자를 삽입하여, 양자를 변별 하게 됩니다. 게다가 이물과 패턴과는 신호에 차이가 있는 것에 주목해, 독자적으로 개발한 lowpass filter에 의해 변별율을 향상시켰습니다. 또한, He-Ne레이저(633nm)를 채용하여 안정된 가동을 할 수 있습니다.  이러한 기술 개발을 통하여, 첨단 Mask에서 범용 Mask까지 폭넓은 대응이 가능해졌습니다.  。

 

 

 

 


제조원 HORIBA

사양

Inspection object

Particles on reticle/mask with or without pellicle

Principle

Laser scattering method

Detectable particle size

Pattern surface: 0.5 µm, Glass surface: 5.0 µm, Pellicle surface: 10.0 µm (* PSL equivalent)

Inspection result

Data mapping display on the FPD

 

Utilities

Installation site

Clean room or clean booth, class 100 or better

Temperature

23 ±1°C

Power

100 to 230 V AC, 7.5 to 5 A, 50/60 Hz, single phase