컴팩트 프로세스가스모니터 MICROPOLE System

개요

잔류 가스 분석계 MICROPOLE System

잔류 가스 분석계 MICROPOLETMSystem은, 반도체나 액정 Panel, 태양전지등 진공 chamber의 전압 및 잔류하고 있는 가스의 분압을 계측할 수 있는 질량 분석계입니다. 질량 검출부에는 9개의 사중극부로 구성해, 「세계 최소 클래스 사이즈」, 「경량화」, 「고압화」를 실현 하였습니다. 이러한 기술 개발로 설치시 요구되는 스페이스도 작으며, 설치도 용이하게 실시할 수 있습니다. MICROPOLETM System은 3.5 인치 액정 디스플레이 탑재된 Controller를 사용했을 경우에 PC 없이 데이터를 채취하는 것이 가능합니다. PC를 사용하는 경우에는, Ether-Net/RS485에서 제어할 수 있어 여러대의 MICROPOLETM System와 접속이 가능합니다. 또한, 3 D데이터 표시 등 다채로운 표시가 가능합니다.

 

기능

타사대비 1/20이하의 세계 최소 클래스의 사이즈와 무게, 크기가 소형이기 때문에, 좁은 곳에서도 설치가 가능합니다.
9개의 사중극부 구조를 채용하여, 저진공(고압) 범위 0.9Pa(7mTorr)까지 조작이 가능 합니다.
전용의 배기가 필요하지 않기 때문에, 추가 설비 비용이 발생 하지 않습니다.

MPA 센서부는 호환성이 있기 때문에 유저가 직접 센서 교환을 간단하게 실시할 수 있습니다.

3.5 인치 칼라 디스플레이가 탑재된 모니터 Controller를 채용 하였습니다.

PC없이 사용이 가능하며 또한 PC를 사용 하여, 현장과 먼 곳에서도 데이터의 확인이 가능 합니다.
RS485 Connector에 의해 MAX8 유닛과 접속이 가능합니다.

PC용 소프트(MICROPOLE SCANNER)에 각종 그래프 모드가 구성되어 있습니다. Trend 그래프· Analog 그래프·바 그래프·3 D그래프,Φ34 Con Flat 플랜지 취합이 가능합니다.

측정원리

RGA는 이온원, 질량 분석부, 계측부 로 구성됩니다. 잔류 가스는 고온의 필라멘트로부터 방출된 열전자와 충돌해 이온화 되어 짐니다. 생성된 이온은 가속·수습되어 질량 분석부에 모이게 됩니다. 질량 분석부에서는 4개의 원주형 전극(사중극)에 직류 및 교류 전압을 인가하는 것으로써, 이온을 질량으로 나눌 수 있습니다. 분리된 이온은 패러데이(Faraday) 컵에서 전류로서 검출되어 이 이온 전류가 잔류 가스의 양(분압)에 비례합니다.

 

 


제조원 HORIBA STEC