UVISEL

개요

분광 위상 변조 Ellipsometer (SPME)  UVISEL 는 어떤 기계적인 운동도 없이 편광을 변조하기 위하여 photoelastic 장치를 내장한 system입니다.
위상 변조 기술은 실험적으로 다양성과 성능면에서 중요한 이점을 제공합니다.
전통적인 ellipsometers와 비교해서 UVISEL 분광 ellipsometer는 얇은 박막 Sample과 낮은 인덱스 Sample에 대해 우수한 정밀도를 가지며, 투명한 회로기판의 특징에 대해 모든 범위 안에서 민감하고 높은 정밀도를 갖는 정보를 제공합니다. 위상 변조 기술로, UVISEL 분광 Ellipsometer는 이방성 sample, Muller Matrix을 측정 할 수 있습니다. UVISEL은 동적인 연구들과 액체로 된 표면 의 측정에 대해 최상의 결과를 제공하며, 포인트당 1m/s 의 측정 속도를 보장합니다.
UVISEL은 활용성이 높은 분광 ellipsometer입니다. 190nm~2100nn까지 댜양한 스펙트럼의 범위를 보장하고 다양한 자동화 system과 사용자의 요구에 가장 부합하는 악세사리들을 제공합니다. UVISEL의 모듈 디자인은 ex-situ 와 in-situ 의 형태와 캐비닛 타입으로도 구성이 가능합니다.

기능

  • Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer
  • Highest precision and sensitivity
  • Wide spectral range : 142 to 2100 nm
  • Modular design
  • Fully integrated spectroscopic ellipsometry software package

제조원 HORIBA Scientific

사양

The UVISEL spectroscopic ellipsometer is available in five configurations:

190nm UVISEL Extended Range 2100 nm

245 nm UVISEL NIR 2100 nm

210 nm UVISEL VIS 880 nm

190 nm UVISEL FUV 880 nm

  

142 nm UVISEL VUV 880 nm