Vapor Concentration Monitor IR-300

버블링 공급 라인용 인 라인 가스 농도 모니터. 재료 가스의 안정공급에.LED 제조 프로세스나 광디바이스 제조 프로세스등에서 폭넓게 채용되고 있는 MOCVD(유기 금속 기상 성장법).이 MOCVD 장치에는 액체/고체 재료가 이용되어 일반적으로는 버블링 방식에 의해 기화 가스로서 챔버에 공급됩니다. 이 재료 가스 공급 라인에 대하고, 안정된 성막 프로세스의 실현 때문에, 리얼타임의 가스 농도 모니터링이...

IR-200

반도체 제조의 성막 프로세스는, 미세 가공의 진보에 수반해, 처리 후의 챔버를 항상 깨끗한 상태에 유지하는 것이, 생산성 향상에 중요해지고 있습니다.IR-200은, 체임버 클리닝 프로세스에 대하고, 클리닝 가스로서 이용되고 있는 불소계 가스와 실리콘과의 반응 생성 가스인 SiF4 가스 농도를 리얼타임에 모니터링 해, 클리닝 종점의 판별을 합니다.