POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA's Award Winning Fluid Delivery System (FDM Series) has revolutionised the POCl3 diffusion process by developing a system to automatically deliver bulk liquid POCl3. This Auto Refill System achieves higher uptime, cost reduction, improved process stability and higher safety.

Liquid Auto Refill System LU Series

액체 재료를 베이킹 시스템(LSC 시리즈), 인젝션 시스템(MI, MV, VC시리즈)에“자동적으로”“안전하게”“헛됨 없게”공급 가능한 액체 재료의 Refill System 입니다.

안전 규격:SEMI S2.S8.S14.CE Marking을 모두 Clear 해, Operate Miss 대책으로서 위험이 수반하는 탱크 교환시의 잔액제거 Sequence의 자동화도 표준 탑재하고 있습니다.또 점검 성의 고효율화를...