Digital Auto Pressure Regulator

UR-Z700 series는 고정밀도 압력 센서, 고분해능·고속 응답의 Piezo Valve 를 탑재한 디지털 타입의Auto Pressure Regulator 입니다. 디지털 네트워크의 실현에 의해, 고도의 액체 재료 기화 시스템의 구축, 배선 단축화에 의한 심플한 가스 패널의 구축 등, 한층 더 높은 수준의 유체 제어 시스템이 구축이 가능해졌습니다.또, Ultra Clean 대응으로, 초고순도 가스...

Automatic pressure regulators

각종 프로세스의 라인 압력 제어에 최적압력 제어 설정 신호의 입력에 의해 라인 압력의 원격 조정이 가능고성능 압력 센서와 Piezo Valve를 내장UItra Clean 대응의 프로세스 라인에 최적

 

Piezo Actuator Valve PV Series

고속 응답의 Piezo Valve 를 내장해, 접가스부가 모두 메탈 구조로 Ultra clean 대응의 고순도 가스 공급계에 최적

Metal Seal 방식으로 가장 낮은 leak

가스 뿐만이 아니라, 액체의 유량 제어도 가능