TL시리즈는, 액체 재료를 전용의 기화기에 의해 기화해, 캐리어 가스를 도입하는 것으로써, 기화 능력을 높여 「 대유량 기화 발생」 「고비점 액체 재료의 기화 발생」 「상압 발생」을 가능하게 한 모델입니다. 액체 재료는 액상상태로 액체 미소 Mass Flow Controller：LV시리즈에 의해 유량 제어됩니다.또 캐리어 가스는 Mass Flow Controller ：SEC 시리즈에 의해 유량 제어되어 각각...
