Thermal Sensor Detection PI Mass Flow Module SEC-Z700 series

개요

Mass Flow Controller 전후에 압력변동이 발생하더라도 안정된 유량제어를 할 수 있습니다. 멀티 챔버의 가스 라인은, 압력변동에 따른 Mass Flow Controller의 크로스토크 현상이 발생하기 쉽기 때문에 라인 Regulator, 압력 Sensor, Filter 가 장착되어 있습니다. 신형 Mass Flow Meter SEC-Z700 series, Criterion D200 Series는 압력변동의 영향을 받지 않으며, 매우 안정된 유량제어를 실현할 수 있는 제품입니다. 유량출력뿐 만 아니라 온도, 압력의 출력 기능도 장비하고 있습니다. 통신은 아나로그, RS-485, DeviceNet의 각종 interface를 구현하고 있습니다. 가스라인의 고성능화, 소형화, 경량화에 최적입니다.

 

기능

  • Multi Gas / Multi Range 대응
    user side에서 가스 종 변경/ Full scale유량 변경 가능                                                                   
  • Full range 고속응답 1초이내 다양한 PID 탑재
    Regulator, Transducer, Filter 가 불필요하여 가스라인의 소형화에 공헌
    1차압, 2차압 변경에 영향 없음
  • Inlet Pressure Sensor 탑재
  • Multi Display 기능탑재
  • 고정도
    1%S.P.에서 유량정도보증
    Ultra Clean, Metal Diagram, All stainless, 내면연마표준
    기존 MFC와의 신호호환을 확보            
    NETWORK 기능을 내장하고 있으며 DIGITAL 신호에 따라 제어를 합니다.         

제조원 HORIBA STEC

외형도

Dimensions of SEC-Z700X Series