При производстве оптоволокна исключительно важно анализировать газы в плазмотроне. Высокоточные технологии анализа и измерения HORIBA постоянно используются для контроля скорости потока этих газов. Для создания преформы производителям оптоволокна следует использовать POCl3, SiCl4 и GeCl4, которые поставляются через барботажную систему или термостат. Точность и воспроизводимость процесса контроля испарения зависит от точности функционирования барботажной системы / термостата и строгого контроля несущего газа.

Передовые контроллеры массового расхода серии SEC-Z500X компании HORIBA, позволяющие контролировать потоки до 500 ст. л/мин, в сочетании с контроллерами серии SEC-8000 обеспечивают идеальное решение для точного контроля потока этих газов критического процесса.

Optical Fiber Map

Сопутствующая продукция

Различные этапы процесса производства полупроводников перечислены ниже. Выберите этап, чтобы увидеть список продукции, имеющейся в ассортименте на этом этапе.

Массовые расходомеры / контроллеры массового расхода

SEC-R100 Series

Digital Mass Flow Controller SEC-R100 Series

Digital Mass Flow controller focuses on non-semiconductor applications. Has digital (PROFIBUS) /analog communications, 24 VDC power supply, high accuracy +/- 1.0% S.P. with high performance Solenoid Valve, and Multi Gas/Multi Range function for the nine most popular gases used in the applications.

High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000 F/D Series

High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000 F/D/E Series

The digital mass flow controller for high-temperature environment, from 15 ℃ to 120 ℃. Digital/Analog communication.

Системы печи

Compact Baking System LSC Series

Best-selling, compact baking system suitable for a range of liquid source delivery applications. Easy maintenance.

Системы впрыска

Мы можем предложить индивидуальные решения, состоящие из компонентов на следующие. Пожалуйста, свяжитесь с нами с вашими запросами.

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

For various industries. Wide range of communication, Digital/Analog, DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™ and EtherCAT®. Wide control range from 10 SCCM to 1000 SLM. All-metal.

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

The best-selling digital mass flow controller offering multi range/multi gas solutions. High accuracy, fast response, and compact size. All metal.

Digital Liquid Mass Flow Meters/Controllers LF-F/LV-F series

High precision liquid mass flow controller using the sensor with a unique cooling method. Can control from micro-liter to ultra low flow rate.

Mixed Injection System Liquid Vaporizer MI-1000/MV-1000 Series

Vaporize liquid source stably by the gas-liquid mixture vaporization method. Can be used for low temperature and large flow production.

Системы барботирования

Мы можем предложить индивидуальные решения, состоящие из компонентов на следующие. Пожалуйста, свяжитесь с нами с вашими запросами.

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

For various industries. Wide range of communication, Digital/Analog, DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™ and EtherCAT®. Wide control range from 10 SCCM to 1000 SLM. All-metal.

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

The best-selling digital mass flow controller offering multi range/multi gas solutions. High accuracy, fast response, and compact size. All metal.

Digital Auto Pressure Regulator

High performance auto pressure regulator with installed pressure sensor and piezo actuator valve. Digital/Analog and DeviceNet™ communications.

Vapor Concentration Monitor IR-300

In-line compact vapor concentration monitor, enables MOCVD precursor delivery to be stable.

IR-200

Monitors SiF4 gas concentration in real time, and identifies the cleaning end-point based on SiF4 gas concentrations.

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA's Award Winning Fluid Delivery System (FDM Series) has revolutionised the POCl3 diffusion process by developing a system to automatically deliver bulk liquid POCl3. This Auto Refill System achieves higher uptime, cost reduction, improved process stability and higher safety.

Системы автоматической перезаправки жидкости

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA's Award Winning Fluid Delivery System (FDM Series) has revolutionised the POCl3 diffusion process by developing a system to automatically deliver bulk liquid POCl3. This Auto Refill System achieves higher uptime, cost reduction, improved process stability and higher safety.

Liquid Auto Refill System LU Series

Automatic liquid refill system delivers chemicals directly to baking or direct liquid injection systems. Safe, efficient, and continuous supply of liquid sources.