Автоматическая система наполнения (Refill)

HORIBA предлагает широкий выбор автоматических систем Refill безопасно и надежно доставить жидкость к месту использования . Производственная линия включает в себя до системы , использующие все из нержавеющей стали смоченных частей для критических полупроводниковых процессов, которые могут быть подключены к широкому спектру высокопроизводительных HORIBASTEC испарителей с прямым впрыском для доставки ТЭОС , ТЭБ , ТУООС .

Линия вверх включает также наградами серии FDM , которая использует неметаллические смоченных частей на предмет загрязнения металла критических процессов , как используется в процессе диффузии фото вольтовой . FDM предназначен для доставки жидкости POCl3 или BBr3 в двойной защитной трубки к расширенному температуры HORIBA в компенсированный Bubbler модуля серии VM.

Жидкая система автоматического пополнения

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA's Award Winning Fluid Delivery System (FDM Series) has revolutionised the POCl3 diffusion process by developing a system to automatically deliver bulk liquid POCl3. This Auto Refill System achieves higher uptime, cost reduction, improved process stability and higher safety.

Liquid Auto Refill System LU Series

Automatic liquid refill system delivers chemicals directly to baking or direct liquid injection systems. Safe, efficient, and continuous supply of liquid sources.