Испарении жидкости системы Источник

HORIBA предлагает широкий выбор систем жидкостного источника парообразования в том числе трех типов : метод . С прямым впрыском , смешанная нагнетательных и хлебопекарной Наша продукция соответствует строгим требованиям рынка полупроводников , которые постоянно улучшать .

Мы используем уникальные и передовые принципы измерения / испарению для наших продуктов , таких как метод дифференциального давления измерения , метод охлаждения для жидкой массы расходомер , который HORIBA разработанной ранее в этом бизнесе , или метод Торнадо потока для смешанной инъекции система . Существует целый ряд подходящих систем парообразования и регулятора массового расхода в различных моделей для вас на выбор .

HORIBA также контроллеры Жидкость массового расхода и расходомеры жидких массового расхода для точности и высокой скорости отклика цифрового потока.

Some Liquid Materials HORIBA Has Experience With

Liquid Materials HORIBA has experiences
Acetic Acid Benzene B(OCH3)3 BTBAS C6F6
Cyclohexane Decyl-TMOS DPM DPMS Ethanol
Ge(OCH3)4 GeCl4 H2O HCD HDFDA
HMDS HMDSO i-Octane IPA Me-Cyclohexane
Methanol n-Octane OMCTS OMTS P(OCH3)3
PO(OCH3)3 SAM24 Si(CH3)4 Si(OCH3)4 SiCH3Cl3
SiCl4 SiH(OCH3)3 SiHCl3 Ta(OC2H5)5 TBTDETa
TDEAHf TDEAT TDMAS TDMAT TEB
TEMAHf TEMAZr TEOS TEPO THF
Ti(O-iPr)4 TiCl4 TMCTS Toluene 1,3-DMA

Please contact us if you require vaporizing any liquid materials that are not listed above.

Смешанная инъекция

Mixed Injection System MV-2000

High stability, compact mixed injection vaporizer system using the new vaporization method, "tornado flow". Suitable for vaporizing liquid sources pyrolyzed easily.

выпечке системы

Compact Baking System LSC Series

Best-selling, compact baking system suitable for a range of liquid source delivery applications. Easy maintenance.

Непосредственный впрыск

Direct Injection System VC Series

The compact vaporization system does not require carrier gas, it can be used with either a liquid or gas flow meter, allowing for easy integration for direct liquid injection.

Direct Injection (Carrier Gas Type)

Large Flow Liquid Source Vaporization Control System LE Series

Capable of large flow vaporization of hydrogen peroxide.

Жидкая система автоматического пополнения

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA's Award Winning Fluid Delivery System (FDM Series) has revolutionised the POCl3 diffusion process by developing a system to automatically deliver bulk liquid POCl3. This Auto Refill System achieves higher uptime, cost reduction, improved process stability and higher safety.

Liquid Auto Refill System LU Series

Automatic liquid refill system delivers chemicals directly to baking or direct liquid injection systems. Safe, efficient, and continuous supply of liquid sources.

Контроллер массового расхода Жидкость

Digital Liquid Flow Meter XF-100 Series

The fast response digital flow meter using differential-pressure measurement method, response time: 100 msec ( or less than 0.8 sec when it is used in combination with a piezo valve).

Digital Liquid Mass Flow Meters/Controllers LF-F/LV-F series

High precision liquid mass flow controller using the sensor with a unique cooling method. Can control from micro-liter to ultra low flow rate.