регулятор давления

HORIBA имеют различные виды продукции, которые могут контролировать давление в линии подачи газа . Мы предлагаем регулятор давления, который включает в себя цифровой датчик давления высокой производительности и пьезоэлектрический клапан . Система охлаждения вафельных использует газообразный гелий , чтобы уменьшить повреждение высокой температуры . Контроллер давление выхлопных газов обеспечивает постоянный уровень давления в камере . Эти элементы способствуют повышению выход в производственном процессе.

регулятор давления

Digital Auto Pressure Regulator

High performance auto pressure regulator with installed pressure sensor and piezo actuator valve. Digital/Analog and DeviceNet™ communications.

привод клапана Piezo

Piezo Actuator Valve PV Series

The fast response piezo actuator valves are equipped with metal diaphragms and metal O-rings.

регулятор давления выхлопных газов

Exhaust Pressure Controller EC-5000 Series

The exhaust pressure controller maintains pressure within a chamber at any desired level. Equipped the high-resolution stepper motor and butterfly valve.

Система охлаждения обратной стороны пластины

Wafer Back Side Cooling System GR-300 Series

High stability and accuracy pressure controller for back side wafer cooling in semiconductor manufacturing, installed piezo actuator valve and pressure sensor.