椭圆偏振光谱仪及可选附件

Spectroscopic ellipsometry accessories

HORIBA Scientific的椭圆偏振光谱仪有大量可选附件,以增强和扩展仪器的性能和灵活性。HORIBA的椭偏仪采用模块化设计,便于升级,以满足不同客户在不同阶段的应用需求。

事业部: 科学仪器
产品分类: 椭圆偏振光谱仪
制造商: HORIBA France SAS

选配

XY自动平台 

XY自动平台:薄膜均一性成像

XY自动样品平台用于样品成像。CCD摄像头结合微光斑,准确定位表征有图案的晶圆。

UVISEL和Smart SE选配
UVISEL 2和Auto SE标配
自动量角器自动量角器:改变入射角度

自动量角器可软件控制更改测量角度。多角度可以增加表征材料的数据量,此外每种材料都有自己的布儒斯特角,在该角度下测试灵敏度更高。

UVISEL和Smart SE选配

UVISEL 2标配

紧凑型卡位量角器

紧凑型卡位量角器

紧凑型卡位量角器为台式UVISEL椭偏仪的高性价比方案。这种配置可用于大多数薄膜应用。

规格

  • 入射角:35°-90°,步径5°
  • 样品自准直系统(可选)
  • 样品台
  • 样品尺寸:< 200 mm
  • 样品厚度:< 20 mm
Z轴手动调节

可选附件

冷热台

冷热台:研究薄膜性能随温度的变化

冷热台有两款温度范围可选(-196°C到350°C,室温到600°C),研究新材料性能,例如聚合物的热转变分析,复合合金的能带结构。

电化学样品池 

电化学样品池:研究电化学反应过程

适用于UVISEL椭偏仪。

光路通过三个熔融SiO2窗口进入样品。其中2个窗口安装角度为70°,用于常规的椭偏测量,正面第三个窗口用于观测样品池的变化。与样品接触部位材质为PVC,样品支架为PTFE,避免与介质相互作用。样品池容积为43毫升,内含一个Ag/AgCl参比电极和一个铂电极,电触电结实,引线完整。

液体样品池

液体样品池:固/液和液体样品实验

适用于HORIBA提供的椭偏仪,便于使用和清洁。

液体池尺寸为30mm (L) × 30mm (W) × 13mm (H),材质可选不锈钢或PEEK。两侧有两个熔融石英窗口,入射角度为70°。可分析4mm的样品,固液实验需要12毫升。可拆卸清洁,避免交叉污染。

密封样品池

密封样品池:非空气环境下表征薄膜

分析对空气或湿度敏感的样品,或是研究材料层上蒸汽/气体的影响。样品池有两个熔融60°入射的石英窗口以及一个顶部准直窗口。样品池有聚四氟乙烯PTEE制成。整个样品便于拆卸和清洁。可装载的样品尺寸为50mm × 50mm,并可在10mm × 10mm区域成像。

低温恒温器

低温恒温器:维持低温

低温恒温器可选,请直接与我们联系获取更多信息。

旋转或θ样品台

旋转样品台:研究各向异性样品

旋转或θ样品台可将样品自动旋转360°,对于复杂各向异性样品和液晶材料非常有用

 

规格

  • 直径150 mm
  • 分辨率:0.005° 

倾斜样品台

倾斜样品台:太阳能电池样品测试

倾斜样品台由160mm×160mm的样品支架和真空吸盘构成。可从水平到90°调整,以满足不同纹理角度的硅基太阳能电池。样品台高度手动可调,可测厚度<10mm。该样品台还可用于透射测试。

透射样品池

透射样品池:70°入射测试样品透过率

透射样品池可在70°角测直径10mm-50mm的小样品。适用于HORIBA标准样品台。

  • 2次测试(有样品和没有样品) 
  • 透射和椭偏透射
  • 真空性能
  • 与柔性基材支架兼容

柔性基材支架 

柔性基材支架:便于安装柔性基材

柔性基材支架由嵌套双环构成。直径可选20mm或50mm。

留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。 * 这些字段为必填项。

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