• 压力不敏感性能
  高性能压力补偿新功能简化了供气系统
• 多量程、多气体、多压力解决方案
  新功能允许用户改变气体类型、满量程流量和供压范围
• G-LIFE（集成限流器方程的气体定律校验）自诊断功能
  先进的工艺健康监控功能允许操作人员自行进行测试，即使提高通过量，通常也能在三秒或更短的时间内完成测试。
• 高精度
  先进的三维调整功能提高了工艺气的流量精度
• 快速响应
  响应时间：< 0.8 秒
  可实现精确、稳定的流量控制
• 动态范围
  控制范围广：0.2% 满量程 至 100% 满量程

技术文件

压力型质量流量控制器 CRITERION D507 系列 (1.7MB)

摘要
“近期，伴随着物联网需求的增加，半导体器件的应用呈上升之势，半导体工厂目前正开足马力，尽量缩短设备的停机时间。为此需对半导体工装及其组件进行故障预检，从而导致半导体工艺的管理参数日益增多，相关规格也越来越严格。为达到规定的控制标准，要求质量流量控制器具有高速通信和故障预检功能，以及流量精度、再现性和入口压力补偿等性能。D507 系列结合 D500 系列可满足半导体工厂近来严格的管理要求。”