压差式质量流量控制器 D500

Pressure Insensitive Mass Flow Module D500

压差式质量流量控制器

这款技术先进的压差式质量流量控制器具备压差检测功能和压电驱动阀。

高性能 CRITERION D500 适用于一系列先进的半导体制程,具有压力补偿,多量程/多气体/多压力,G-LIFE(集成限流器方程的气体定律校验)自诊断功能,高精度、快速响应、宽量程、全金属等特点。

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事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 压力不敏感性能
    高性能压力补偿新功能简化了供气系统
  • 多量程、多气体、多压力解决方案
    新功能允许用户改变气体类型、满量程流量和供压范围
  • G-LIFE(集成限流器方程的气体定律校验)自诊断功能
    先进的工艺健康监控功能允许操作人员自行进行测试,即使提高通过量,通常也能在三秒或更短的时间内完成测试。
  • 高精度
    先进的三维调整功能提高了工艺气的流量精度
  • 快速响应
    响应时间:< 0.8 秒
    可实现精确、稳定的流量控制
  • 动态范围
    控制范围广:0.2% 满量程 至 100% 满量程

 

技术文件

压力型质量流量控制器 CRITERION D507 系列 (1.7MB)

摘要
“近期,伴随着物联网需求的增加,半导体器件的应用呈上升之势,半导体工厂目前正开足马力,尽量缩短设备的停机时间。为此需对半导体工装及其组件进行故障预检,从而导致半导体工艺的管理参数日益增多,相关规格也越来越严格。为达到规定的控制标准,要求质量流量控制器具有高速通信和故障预检功能,以及流量精度、再现性和入口压力补偿等性能。D507 系列结合 D500 系列可满足半导体工厂近来严格的管理要求。”

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