HE-960LF / FS-09F-1/2

平面碳传感器电导率计

研磨液浓度控制的理想选择

有效保持恒定的研磨液稀释度。保持适当的电导率值有助于保持晶圆抛光制程中的工艺稳定性。即使是高粘度样品液体(如 CMP 研磨液)也可以正常测量,因为其使用的传感器结构降低了样品液体附着在电极上的风险。同时,传感器由具有良好耐化学性的接液材料制成,符合半导体制程的清洁度要求。此外,它还可以用于半导体制程开发阶段的引入和特殊化学药液的电导率控制。

事业部: 半导体
产品分类: 湿法过程控制
制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

高精度/高稳定性

  • 测量范围:0 至 2,000 μS/cm, 0 至 10,000 μS/cm
  • 重复性:± 0.5% F.S.,± 1.0% F.S.

无金属污染

由于电极材料采用特殊碳制成,因此无需担心金属洗脱污染问题。

配备浓度换算功能

通过输入化学药液浓度和电导率之间的关系以及温度特性,可实现两种不同类型的浓度换算。
特别适用于低浓度化学品的稀释控制。

节省空间

通过缩小传统电导率传感器的尺寸,提高了安装布局的自由度。

 

安装式例

■Specification conveter

Product name Conductivity meter
Model HE-960LF
Measurement method Electrode type(2-electrode method)
Temperature
specifications sensor
Platinum resistance 1000Ω/℃
Measurement
range
Cell constant 0.1/cm 1.0/cm
Conductivity 0.00 to 20.00μS/cm 0.0 to 200.0μS/cm
0.0 to 200.0μS/cm 0 to 2000μS/cm
0 to 1000μS/cm 0 to 10000μS/cm
*Measuring range of raw conductivity Switched with setting change
Temperature 0 to 100℃ Actual temperature measuring range depend on the performance of the sensor connected.
Concentration
conversion
Option 1,2 0 to 10.000% Conversion formula is defined by user
(temperature compensation and concentration conversion)
Repeatability Cell constant 0.1/cm 1.0/cm  
Conductivity 0.00 to 20.00μS/cm range 0.0 to 200.0μS/cm range Within ±0.5% full scale
0.0 to 200.0μS/cm range 0 to 2000μS/cm range
0 to 1000μS/cm range 0 to 10000μS/cm range Within ±1.0% full scale
Temperature ±0.5℃
Condition Equivalent input
Linearity Cell constant 0.1/cm 1.0/cm  
Conductivity 0.00 to 20.00μS/cm range 0.0 to 200.0μS/cm range Within ±0.5% full scale
0.0 to 200.0μS/cm range 0 to 2000μS/cm range
0 to 1000μS/cm range 0 to 10000μS/cm range Within ±1.0% full scale
Temperature ±0.5℃
Condition Equivalent input
Transmission output Number of output:4
DC4 to 20mA / 0 to 20mA input/output isolated type
Maximum load resistance : 900Ω
Transmission output range : Free setting within measuring range
(Negative terminals of each transmission output channel are connected inside and thus
have the same electrical potential.)
Contact output Number of relay:5
ALARM contact R1,R2,R3 and R4
Contact type relay : Relay contact, SPST (1a)
Contact rating:240 V AC,1 A or 30 V DC, 1 A(resistance load)
Contact function Upper or lower ON/OFF alarm each measurement items.
Contact action Closed when status is in the event.
Opened when any erroneous status is normal or power is down.
R1,R2 and R3 share a common terminal.
Self diagnosis contact RF
Contact type : relay contact , SPDT (1c)
Contact rating:240 V AC,1 A or 30 V DC, 1 A(resistance load)
C-NO contact action : Closed when status is normal. Opened when any erroneous status is
detected or power is down. R4 and RF share a common terminal.
Contact input Number of input:1
Contact type:open collector. No-voltage contact
Function : Hold command
Communication output RS-485 communication
Self-check Sensor diagnosis (Short-circuit and disconnection of the temperature sensor).
Converter error
Temperature
compensation
of conductivity
● Arbitrary temperature coefficient entry
(reference temperature : 25℃, temperature coefficient : 0%/℃ to 5%/℃)
● Arbitrary temperature compensation formula entry
(reference temperature : 25℃, formula is defined by user)
● No temperature compensation is performed.
Temperature
compensation range
0 to 100℃
The temperature compensation under 0℃ and over 100℃ is expanded by a function
Ambient temperature 5 to 45℃
Relative humidity -25 to 65℃
Power supply Rated voltage 24 V DC, 10W (max.)
Structure Indoor-use panel installation type
Panel case : ABS, terminal : PBT
Panel : IP65 dust and water proof structure
Conforming standards CE Marking EMC Directive : EN61326-2-3
FCC Rule FCC Part15
Mass Approx. 550g
External dimensions 96 (W) × 96 (H) × 115 (D) mm
Case depth : approx. 105mm (when panel-mounted)
Compatible sensors FS-09F-1/2

 

■Specification sensor

Model FS-09F-1/2 FS-09F-1/2-200
Wetted material Glass carbon, PFA. Kalrez® 6375
pipe size 1/2 inch
Flow rate 0L/min to 10
Keep enough flow rate to measure latest sample.
Sample pressure 0 to 0.3MPa (Temperature : 20 to 30 degree℃)
Sample temperature 20~30 degree℃
If the difference between the ambient temperature
and the sample liquid temperature is 5 degree℃,
a measurement error of about 1 degree℃ will occur.
Cable length Approx. 3.5m

 

Dimensions (mm)


留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。

* 这些字段为必填项。

Related products

CS-100 Series
CS-100 Series

独立式化学药液浓度计

CS-100F1 系列
CS-100F1 系列

光纤型化学药液浓度计

CS-600F
CS-600F

光纤型化学药液浓度计

CS-620F
CS-620F

光纤型高温磷酸浓度计

CS-700
CS-700

高精度、高稳定性化学药液浓度计

CS-900
CS-900

非接触式化学药液浓度计

HD-960L
HD-960L

低浓度溶解氧浓度计

HE-200C
HE-200C

现场安装型电导率计(四线制传输,低浓度)

HE-300C
HE-300C

现场安装型电导率计(二线制传输,低浓度)

HE-300R
HE-300R

现场安装型电阻率计(二线制传输)

HE-480C
HE-480C

面板安装型电导率计(四线制传输,低浓度)

HE-480C-GC
HE-480C-GC

碳传感器电导率计(低浓度型)

HE-480R
HE-480R

面板安装型电阻率计(四线制传输)

HE-480R(W)
HE-480R(W)

工业级电阻率计

HE-960CA
HE-960CA

柠檬酸浓度计

HE-960H-KOH
HE-960H-KOH

KOH 浓度计

HE-960H-TM
HE-960H-TM

宽测量范围 TMAH 浓度计

HE-960H-TM-S
HE-960H-TM-S

高精度 TMAH 浓度计

HE-960HC
HE-960HC

碳传感器电导率计(高浓度)

HE-960LC
HE-960LC

碳传感器电导率计

HE-960LF / FS-09F-1/2
HE-960LF / FS-09F-1/2

平面碳传感器电导率计

HE-960R-GC(W)
HE-960R-GC(W)

碳传感器电阻率计

HE-960RW-GC(W)
HE-960RW-GC(W)

双通道电阻率计

HF-960EM
HF-960EM

在线传感器和自动测量范围切换浓度计

HF-960H
HF-960H

HF / HCl 浓度计

HF-960M
HF-960M

低浓度型 HF/HCl/NH3 浓度计

HP-480(W)
HP-480(W)

工业 级pH 计

HZ-960
HZ-960

溶解臭氧浓度计

HZ-960HPO-M
HZ-960HPO-M

H2O2 浓度计

SLIA-300
SLIA-300

高灵敏度二氧化硅浓度计

UP-100
UP-100

微量 pH 计

CS-100 Series
CS-100 Series

独立式化学药液浓度计

CS-100F1 系列
CS-100F1 系列

光纤型化学药液浓度计

CS-600F
CS-600F

光纤型化学药液浓度计

CS-620F
CS-620F

光纤型高温磷酸浓度计

CS-700
CS-700

高精度、高稳定性化学药液浓度计

CS-900
CS-900

非接触式化学药液浓度计

HC-200F
HC-200F

现场安装型简易氟离子浓度计(四线制传输)

HC-200NH
HC-200NH

现场安装型氨氮分析仪(四线式传输)

HC-300F
HC-300F

现场安装型简易氟离子浓度计(二线制传输)

HD-200
HD-200

现场安装型溶解氧计(四线制传输)

HD-200FL
HD-200FL

现场安装型溶解氧计(四线制传输)

HD-300
HD-300

现场安装型溶解氧计(二线制传输)

HD-480
HD-480

现场安装型溶解氧计(四线制传输)

HD-960L
HD-960L

低浓度溶解氧浓度计

HE-200C
HE-200C

现场安装型电导率计(四线制传输,低浓度)

HE-200H
HE-200H

现场安装型电导率计(四线制传输,高浓度)

HE-200R
HE-200R

现场安装型电阻率计(四线制传输)

HE-300C
HE-300C

现场安装型电导率计(二线制传输,低浓度)

HE-300R
HE-300R

现场安装型电阻率计(二线制传输)

HE-480C
HE-480C

面板安装型电导率计(四线制传输,低浓度)

HE-480C-GC
HE-480C-GC

碳传感器电导率计(低浓度型)

HE-480H
HE-480H

面板安装型电导率计(四线制传输,高浓度)

HE-480R
HE-480R

面板安装型电阻率计(四线制传输)

HE-480R(W)
HE-480R(W)

工业级电阻率计

HE-960CA
HE-960CA

柠檬酸浓度计

HE-960CW
HE-960CW

面板安装型电导率计(四线制传输,双通道)

HE-960H-KOH
HE-960H-KOH

KOH 浓度计

HE-960H-TM
HE-960H-TM

宽测量范围 TMAH 浓度计

HE-960H-TM-S
HE-960H-TM-S

高精度 TMAH 浓度计

HE-960HC
HE-960HC

碳传感器电导率计(高浓度)

HE-960HI
HE-960HI

面板安装型电导率计(四线制传输,宽量程)

HE-960LC
HE-960LC

碳传感器电导率计

HE-960LF / FS-09F-1/2
HE-960LF / FS-09F-1/2

平面碳传感器电导率计

HE-960R-GC(W)
HE-960R-GC(W)

碳传感器电阻率计

HE-960RW
HE-960RW

面板安装型电阻率计(四线制传输,双通道)

HE-960RW-GC(W)
HE-960RW-GC(W)

双通道电阻率计

HF-960EM
HF-960EM

在线传感器和自动测量范围切换浓度计

HD-200
HD-200

现场安装型溶解氧计(四线制传输)

HD-300
HD-300

现场安装型溶解氧计(二线制传输)

HD-480
HD-480

现场安装型溶解氧计(四线制传输)

HD-960L
HD-960L

低浓度溶解氧浓度计

HE-200C
HE-200C

现场安装型电导率计(四线制传输,低浓度)

HE-200H
HE-200H

现场安装型电导率计(四线制传输,高浓度)

HE-200R
HE-200R

现场安装型电阻率计(四线制传输)

HE-300C
HE-300C

现场安装型电导率计(二线制传输,低浓度)

HE-300R
HE-300R

现场安装型电阻率计(二线制传输)

HE-480C
HE-480C

面板安装型电导率计(四线制传输,低浓度)

HE-480C-GC
HE-480C-GC

碳传感器电导率计(低浓度型)

HE-480H
HE-480H

面板安装型电导率计(四线制传输,高浓度)

HE-480R
HE-480R

面板安装型电阻率计(四线制传输)

HE-480R(W)
HE-480R(W)

工业级电阻率计

HE-960CA
HE-960CA

柠檬酸浓度计

HE-960CW
HE-960CW

面板安装型电导率计(四线制传输,双通道)

HE-960H-KOH
HE-960H-KOH

KOH 浓度计

HE-960H-TM
HE-960H-TM

宽测量范围 TMAH 浓度计

HE-960H-TM-S
HE-960H-TM-S

高精度 TMAH 浓度计

HE-960HC
HE-960HC

碳传感器电导率计(高浓度)

HE-960HI
HE-960HI

面板安装型电导率计(四线制传输,宽量程)

HE-960LC
HE-960LC

碳传感器电导率计

HE-960LF / FS-09F-1/2
HE-960LF / FS-09F-1/2

平面碳传感器电导率计

HE-960R-GC(W)
HE-960R-GC(W)

碳传感器电阻率计

HE-960RW
HE-960RW

面板安装型电阻率计(四线制传输,双通道)

HE-960RW-GC(W)
HE-960RW-GC(W)

双通道电阻率计

HF-960H
HF-960H

HF / HCl 浓度计

HF-960M
HF-960M

低浓度型 HF/HCl/NH3 浓度计

HO-200
HO-200

现场安装型ORP计(四线制传输)

HO-300
HO-300

现场安装型ORP计(二线制传输)

HO-480
HO-480

面板安装型 ORP 计 (四线制传输)

HR-200
HR-200

现场安装型余氯计 (四线制传输, 水珠型)

HR-480
HR-480

面板安装型余氯计 (四线制传输)

HT-110
HT-110

总有机碳监测仪

HZ-960HPO-M
HZ-960HPO-M

H2O2 浓度计

TOCADERO ONE
TOCADERO ONE

Automatic Total Organic Carbon Analyzer (On-line TOC analyzer)

TW-100
TW-100

给水监测仪

TW-150
TW-150

在线水质分析仪

U-50
U-50

多参数水质分析仪

卫生电导率传感器(卡套夹式)FES-210L
卫生电导率传感器(卡套夹式)FES-210L

高量程电导率仪 HE-960HI 的插入式传感器